隨著現(xiàn)代高性能材料制備技術(shù)的飛速發(fā)展,各種難加工材料零部件的使用數(shù)量日益增多,尤其是高速切削、高效加工、干切削等先進(jìn)加工工藝的出現(xiàn),對(duì)刀具切削性能不斷提出更高要求,在刀具表面涂覆硬質(zhì)耐磨涂層是提升其使用壽命和加工效率的一種有效方法。目前,刀具行業(yè)中廣泛應(yīng)用的AlCrSiN涂層具有良好的力學(xué)性能,如硬度高、彈性模量大、韌性好、膜基結(jié)合力強(qiáng),但該涂層摩擦系數(shù)大,加工過(guò)程產(chǎn)生大量切削熱,導(dǎo)致刀具磨損嚴(yán)重,加工質(zhì)量降低。若摻雜第六副族Mo元素于AlCrSiN涂層,在摩擦過(guò)程中Mo元素常被氧化成低剪切模量的層狀MoO₃,層間易發(fā)生剪切滑移可賦予涂層良好的潤(rùn)滑功能,有望改善涂層的摩擦磨損性能;同時(shí),若Mo原子固溶到（Al,Cr）N晶格中,還可引起晶格畸變來(lái)實(shí)現(xiàn)強(qiáng)化,進(jìn)一步提升涂層性能。鑒于以上,本文采用復(fù)合磁控濺射技術(shù)研制AlCrSiN/Mo自潤(rùn)滑涂層,系統(tǒng)研究了CrMo靶濺射功率、沉積壓強(qiáng)等工藝參數(shù)對(duì)涂層的組織結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能及摩擦學(xué)性能的影響;再經(jīng)真空熱處理進(jìn)一步強(qiáng)化涂層,并評(píng)價(jià)其耐熱能力。依據(jù)上述研究,在硬質(zhì)合金立銑刀表面分別制備沉積態(tài)和退火態(tài)AlCrSiN/Mo涂層,并... 

【文章頁(yè)數(shù)】：68 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

磁控濺射電源功率脈沖示意圖：(a)高功率脈沖磁控濺射；(b)脈沖直流磁控濺射

TiN/NBN超晶格薄膜的透射斷面圖[22]

納米復(fù)合涂層結(jié)構(gòu)示意圖

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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[2]鉬合金MoSi2涂層高溫?zé)嵴鹦袨榕c裂紋擴(kuò)展[J]. 肖來(lái)榮,張貝,蔡圳陽(yáng),孫國(guó)基,李威,劉建飛,樸晟銘.  稀有金屬材料與工程. 2018(11)
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[5]Microstructure and Properties of the Cr–Si–N Coatings Deposited by Combining High-Power Impulse Magnetron Sputtering（HiPIMS） and Pulsed DC Magnetron Sputtering[J]. Tie-Gang Wang,Yu Dong,Belachew Abera Gebrekidan,Yan-Mei Liu,Qi-Xiang Fan,Kwang Ho Kim.  Acta Metallurgica Sinica（English Letters）. 2017(07)
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碩士論文
[1]Al2O3-TiN-CaF2自潤(rùn)滑陶瓷刀具切削試驗(yàn)研究[D]. 石鵬輝.齊魯工業(yè)大學(xué) 2016
[2]高功率復(fù)合脈沖磁控濺射等離子體特性及TiN薄膜制備[D]. 李希平.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2008



本文編號(hào)：3658022