隨著現(xiàn)代高性能材料制備技術(shù)的飛速發(fā)展,各種難加工材料零部件的使用數(shù)量日益增多,尤其是高速切削、高效加工、干切削等先進加工工藝的出現(xiàn),對刀具切削性能不斷提出更高要求,在刀具表面涂覆硬質(zhì)耐磨涂層是提升其使用壽命和加工效率的一種有效方法。目前,刀具行業(yè)中廣泛應用的AlCrSiN涂層具有良好的力學性能,如硬度高、彈性模量大、韌性好、膜基結(jié)合力強,但該涂層摩擦系數(shù)大,加工過程產(chǎn)生大量切削熱,導致刀具磨損嚴重,加工質(zhì)量降低。若摻雜第六副族Mo元素于AlCrSiN涂層,在摩擦過程中Mo元素常被氧化成低剪切模量的層狀MoO₃,層間易發(fā)生剪切滑移可賦予涂層良好的潤滑功能,有望改善涂層的摩擦磨損性能;同時,若Mo原子固溶到（Al,Cr）N晶格中,還可引起晶格畸變來實現(xiàn)強化,進一步提升涂層性能。鑒于以上,本文采用復合磁控濺射技術(shù)研制AlCrSiN/Mo自潤滑涂層,系統(tǒng)研究了CrMo靶濺射功率、沉積壓強等工藝參數(shù)對涂層的組織結(jié)構(gòu)、力學性能及摩擦學性能的影響;再經(jīng)真空熱處理進一步強化涂層,并評價其耐熱能力。依據(jù)上述研究,在硬質(zhì)合金立銑刀表面分別制備沉積態(tài)和退火態(tài)AlCrSiN/Mo涂層,并... 

【文章頁數(shù)】：68 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

磁控濺射電源功率脈沖示意圖：(a)高功率脈沖磁控濺射；(b)脈沖直流磁控濺射

TiN/NBN超晶格薄膜的透射斷面圖[22]

納米復合涂層結(jié)構(gòu)示意圖

【參考文獻】：
期刊論文
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碩士論文
[1]Al2O3-TiN-CaF2自潤滑陶瓷刀具切削試驗研究[D]. 石鵬輝.齊魯工業(yè)大學 2016
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本文編號：3658022