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深振蕩磁控濺射復(fù)合沉積CrN/TiN超晶格涂層的摩擦學(xué)性能

發(fā)布時(shí)間:2022-02-15 16:19
  研究了IN718高溫合金、WC-6%Co硬質(zhì)合金和Si(100)基體上深振蕩磁控濺射復(fù)合沉積CrN/TiN超晶格涂層的摩擦學(xué)性能。研究表明,涂層的生長(zhǎng)對(duì)基體的類(lèi)型沒(méi)有選擇性。隨著基體硬度的升高,劃痕結(jié)合力失效臨界載荷增大,涂層結(jié)合力失效機(jī)制由翹曲失效轉(zhuǎn)變?yōu)榛w/涂層協(xié)同變形,未發(fā)現(xiàn)涂層的剝落失效。載荷為2N時(shí),磨損機(jī)制由磨粒磨損和氧化磨損轉(zhuǎn)變?yōu)檩p微磨粒磨損。載荷為4 N時(shí),IN 718基體上涂層的磨損機(jī)制為嚴(yán)重的氧化磨損,WC-6%Co基體上的涂層的磨損機(jī)制為磨粒磨損和氧化磨損,氧化物的產(chǎn)生、堆積和轉(zhuǎn)移導(dǎo)致摩擦系數(shù)的波動(dòng)。 

【文章來(lái)源】:稀有金屬材料與工程. 2020,49(07)北大核心EISCICSCD

【文章頁(yè)數(shù)】:4 頁(yè)

【部分圖文】:

深振蕩磁控濺射復(fù)合沉積CrN/TiN超晶格涂層的摩擦學(xué)性能


DOMS+PDCMS沉積CrN/TiN超晶格涂層的XRD圖譜

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圖1 DOMS+PDCMS沉積CrN/TiN超晶格涂層的XRD圖譜圖4為DOMS+PDCMS復(fù)合技術(shù)在IN 718和WC-6%Co基體上沉積的CrN/TiN超晶格涂層的摩擦系數(shù)曲線。當(dāng)載荷為2 N時(shí),涂層經(jīng)歷了15 min的磨合期達(dá)到穩(wěn)定磨損,涂層的摩擦系數(shù)的變化趨勢(shì)相似,IN 718和WC-6%Co基體上沉積的涂層的摩擦系數(shù)分別為0.34和0.48。當(dāng)載荷增至4 N時(shí),涂層的摩擦系數(shù)顯著增加并且呈現(xiàn)向下振蕩的趨勢(shì),二者的摩擦系數(shù)分別為0.67和0.72。涂層在磨合期(0~15 min)過(guò)程中,摩擦系數(shù)迅速地增加并無(wú)規(guī)則地波動(dòng),這是由于摩擦磨損初期要收到涂層表面形貌等因素的影響。而摩擦系數(shù)呈現(xiàn)向下振蕩的趨勢(shì),這表明剪切力呈現(xiàn)相應(yīng)的忽大忽小的振蕩變化,可能與摩擦磨損過(guò)程中氧化物的形成、堆積和轉(zhuǎn)移相關(guān)。

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圖4為DOMS+PDCMS復(fù)合技術(shù)在IN 718和WC-6%Co基體上沉積的CrN/TiN超晶格涂層的摩擦系數(shù)曲線。當(dāng)載荷為2 N時(shí),涂層經(jīng)歷了15 min的磨合期達(dá)到穩(wěn)定磨損,涂層的摩擦系數(shù)的變化趨勢(shì)相似,IN 718和WC-6%Co基體上沉積的涂層的摩擦系數(shù)分別為0.34和0.48。當(dāng)載荷增至4 N時(shí),涂層的摩擦系數(shù)顯著增加并且呈現(xiàn)向下振蕩的趨勢(shì),二者的摩擦系數(shù)分別為0.67和0.72。涂層在磨合期(0~15 min)過(guò)程中,摩擦系數(shù)迅速地增加并無(wú)規(guī)則地波動(dòng),這是由于摩擦磨損初期要收到涂層表面形貌等因素的影響。而摩擦系數(shù)呈現(xiàn)向下振蕩的趨勢(shì),這表明剪切力呈現(xiàn)相應(yīng)的忽大忽小的振蕩變化,可能與摩擦磨損過(guò)程中氧化物的形成、堆積和轉(zhuǎn)移相關(guān)。圖4 DOMS+PDCMS復(fù)合技術(shù)在IN 718和WC-6%Co基體上沉積的CrN/TiN超晶格涂層的摩擦系數(shù)曲線


本文編號(hào):3626941

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