發(fā)布時間：2022-01-23 09:34

　　脆性材料在研磨加工過程中產(chǎn)生的亞表面損傷會直接影響其性能和使用壽命,甚至?xí)l(fā)難以挽回的后果。對研磨加工過程中產(chǎn)生亞表面損傷的機(jī)理及控制的研究有利于優(yōu)化加工工藝,提高加工效率,快速達(dá)到低/無亞表面損傷的目的。固結(jié)磨料研磨加工具有工藝可控性強(qiáng),清潔環(huán)保和平坦化效果好等優(yōu)點(diǎn)被廣泛應(yīng)用于脆性材料的超精密加工中。從微觀角度而言,固結(jié)磨料研磨過程可以簡化成單顆磨粒對材料的壓入和刻劃過程的聯(lián)合作用,由于單顆磨粒具有較好的可控性,因此對單顆磨粒的作用研究已經(jīng)成為研究復(fù)雜的研磨機(jī)理的一種重要手段。本文以脆性材料在固結(jié)磨料研磨加工過程中產(chǎn)生的亞表面損傷為研究對象,以單顆磨粒的壓入與刻劃實(shí)驗(yàn)為基礎(chǔ),采用側(cè)面逐層拋光腐蝕法獲得最佳切深,結(jié)合單顆磨粒切深模型,進(jìn)而設(shè)計(jì)固結(jié)磨料研磨墊,實(shí)現(xiàn)脆性材料的亞表面損傷控制。本文主要的研究工作和研究成果包括以下幾個方面:（1）研究了單顆磨粒作用下硬脆材料的表面/亞表面裂紋形貌。介紹了側(cè)面逐層拋光腐蝕法;采用單顆磨粒靜載壓入工件的方法,探討了硬脆材料裂紋擴(kuò)展機(jī)理,獲得了靜載作用下載荷與裂紋擴(kuò)展深度之間以及壓頭壓入深度與裂紋擴(kuò)展深度之間的經(jīng)驗(yàn)關(guān)系;采用動態(tài)劃擦的方法,獲得了硬... 

【文章來源】：南京航空航天大學(xué)江蘇省 211工程院校

【文章頁數(shù)】：75 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

熔石英玻璃的激光誘導(dǎo)損傷[3]

圖 1.2 固結(jié)磨料研磨原理示意圖料研磨墊是把磨料均勻分散在樹脂基體中，通過光固化或熱固流程圖如圖 1.3 所示。樹脂基固結(jié)磨料研磨技術(shù)把金剛石磨粒運(yùn)動可控，同時因結(jié)合劑較軟，具有親水性，金剛石磨粒出露，研磨墊的自修正性能較好，樹脂基固結(jié)磨料研磨技術(shù)相對金得到有效提升，是最常用的固結(jié)磨料研磨加工技術(shù)[36]。作臺固結(jié)件基體ω1ω2無磨料拋光液

圖 1.2 固結(jié)磨料固結(jié)磨料研磨墊是把磨料均勻分散在樹脂其制備工藝流程圖如圖 1.3 所示。樹脂基固結(jié)使得磨粒的運(yùn)動可控，同時因結(jié)合劑較軟，具會自動脫落，研磨墊的自修正性能較好，樹脂料研磨技術(shù)得到有效提升，是最常用的固結(jié)磨

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]基于FEM的單顆磨粒切削光子晶體光纖端面仿真研究[J]. 馮迪,趙正琪,房啟蒙,宋凝芳.  半導(dǎo)體光電. 2017(04)
[2]固結(jié)磨料研磨鎂鋁尖晶石的平均切深和亞表面損傷行為[J]. 王占奎,朱永偉,李信路,朱楠楠,李軍,蘇建修,左敦穩(wěn).  硅酸鹽學(xué)報(bào). 2017(03)
[3]光學(xué)硬脆材料固結(jié)磨料研磨中的亞表面損傷預(yù)測[J]. 朱永偉,李信路,王占奎,凌順志.  光學(xué)精密工程. 2017(02)
[4]光學(xué)鏡片亞表面損傷形成數(shù)值模擬與分析[J]. 任志英,高誠輝,陳為平,林有希.  中國機(jī)械工程. 2016(19)
[5]石英玻璃的熱輔助高效塑性域干磨削[J]. 王偉,姚鵬,王軍,黃傳真,朱洪濤.  光學(xué)精密工程. 2016(01)
[6]基于ABAQUS的工程陶瓷單顆磨粒磨削仿真[J]. 馬廉潔,田俊超,陳杰,王華.  裝備制造技術(shù). 2015(11)
[7]磨粒尺寸對FAP研拋工件亞表面損傷層深度的影響[J]. 戴子華,朱永偉,王加順,肖仁杰,朱琳,李軍.  人工晶體學(xué)報(bào). 2015(11)
[8]HF酸對玻璃淺層蝕刻模型的研究[J]. 秦靜,龐東,袁騉,李椿方,劉通.  當(dāng)代化工. 2015(09)
[9]光學(xué)石英玻璃納米級加工性能[J]. 郭曉光,翟昌恒,張亮,金洙吉,郭東明.  光學(xué)精密工程. 2014(11)
[10]單顆磨粒作用下硼硅酸鹽玻璃的亞表面靜態(tài)裂紋[J]. 戴子華,朱永偉,居志蘭,李軍,孫韜,左敦穩(wěn).  硅酸鹽學(xué)報(bào). 2014(09)

博士論文
[1]固結(jié)磨料研磨藍(lán)寶石工件的材料去除機(jī)理及工藝研究[D]. 王建彬.南京航空航天大學(xué) 2015
[2]固結(jié)磨料研磨K9玻璃亞表面損傷研究[D]. 戴子華.南京航空航天大學(xué) 2015
[3]基于單顆磨粒切削的氮化硅陶瓷精密磨削仿真與實(shí)驗(yàn)研究[D]. 劉偉.湖南大學(xué) 2014
[4]基于磨粒有序排布砂輪的高速磨削基礎(chǔ)研究[D]. 田霖.南京航空航天大學(xué) 2013
[5]強(qiáng)激光誘導(dǎo)光學(xué)元件損傷的研究[D]. 邱榮.中國工程物理研究院 2013
[6]基于微納米劃擦特性的光學(xué)玻璃磨削機(jī)理與工藝研究[D]. 顧偉彬.上海交通大學(xué) 2012
[7]基于單顆磨粒切削的淬硬模具鋼磨削機(jī)理研究[D]. 言蘭.湖南大學(xué) 2010
[8]光學(xué)材料加工亞表面損傷檢測及控制關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 王卓.國防科學(xué)技術(shù)大學(xué) 2008
[9]硅片延性域磨削機(jī)理研究[D]. 霍鳳偉.大連理工大學(xué) 2006

碩士論文
[1]光學(xué)石英玻璃納米加工性能的研究[D]. 翟昌恒.大連理工大學(xué) 2016
[2]氧化鋯陶瓷三維裂紋擴(kuò)展和壓痕實(shí)驗(yàn)的有限元模擬研究[D]. 劉念.華中科技大學(xué) 2016
[3]軟脆晶體CaF2固結(jié)磨料拋光研究[D]. 宋龍龍.南京航空航天大學(xué) 2016
[4]光學(xué)玻璃磨削亞表面裂紋分析及深度預(yù)測研究[D]. 冷冰.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2015
[5]單顆金剛石磨粒劃擦SiC的實(shí)驗(yàn)研究[D]. 賀勇.華僑大學(xué) 2014
[6]金剛石顆粒的表面鍍鎳及其在固結(jié)磨料研磨中的應(yīng)用[D]. 劉婷婷.南京航空航天大學(xué) 2014
[7]光學(xué)玻璃研磨加工后亞表面損傷研究[D]. 高平.南京航空航天大學(xué) 2012
[8]熱固型固結(jié)磨料研磨拋光墊的制備及其評價[D]. 葉劍鋒.南京航空航天大學(xué) 2012
[9]碳化鎢—鈷陶瓷亞表面裂紋擴(kuò)展預(yù)測模型的建立[D]. 熊志慶.湖南大學(xué) 2005



本文編號：3604079