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磁控濺射法制備氧化鋁/氧化鋯雙層復(fù)合涂層的氫滲透性能研究

發(fā)布時(shí)間:2021-12-02 12:36
  采用射頻反應(yīng)磁控濺射法在316L不銹鋼基底上沉積了Al2O3/ZrO2雙層復(fù)合涂層。利用掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線衍射(XRD)、顯微劃痕法分析了涂層的微觀形貌、物相組成和膜基結(jié)合力,采用氣相氫滲透裝置對(duì)涂層的氫滲透行為進(jìn)行了表征。結(jié)果表明,Al2O3/ZrO2涂層具有非晶氧化鋁、氧化鋯單斜相和四方相,涂層結(jié)構(gòu)致密,呈柱狀生長(zhǎng)方式,厚度為320 nm。顯微劃痕結(jié)果表明,Al2O3/ZrO2涂層的膜基結(jié)合力為8.5 N,較氧化鋁涂層有明顯提高,氧化鋁涂層的膜基結(jié)合力為4.5 N。此外,Al2O3/ZrO2涂層具有優(yōu)異的阻氫滲透性能,其氫滲透阻擋因子在550700℃溫度范圍內(nèi)為206950。Al2O3/ZrO2涂層的氫滲透激活能為132 k J·mol-1,高于單層氧化鋁和氧化鋯涂層的激活能,雙層復(fù)合涂層的阻氫性能較單層涂層有明顯提高。 

【文章來(lái)源】:稀有金屬. 2015,39(10)北大核心EICSCD

【文章頁(yè)數(shù)】:6 頁(yè)

【文章目錄】:
1實(shí)驗(yàn)
    1.1材料制備
    1.2材料表征
2結(jié)果與討論
3結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
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[8]UHM WPE與鈦基-TiN-TiC系梯度薄膜材料對(duì)磨的生物摩擦磨損特性[J]. 楊敏,鄭昌瓊,冉均國(guó),張皖欣,李祝.  生物醫(yī)學(xué)工程學(xué)雜志. 2000(01)

碩士論文
[1]射頻磁控濺射法制備ZrO2薄膜及其特性研究[D]. 溫吉穎.哈爾濱理工大學(xué) 2012



本文編號(hào):3528455

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