單晶硅是光伏產(chǎn)業(yè)、航空和航天等高性能零件應(yīng)用領(lǐng)域常用的硬脆材料,具有化學(xué)穩(wěn)定性好、硬度大、脆性高、耐磨性好、化學(xué)機(jī)械性能優(yōu)良等特點(diǎn)。在對(duì)單晶硅進(jìn)行三維微結(jié)構(gòu)微細(xì)磨削加工過程中,極易產(chǎn)生棱角邊刃裂紋、崩邊、缺角等加工損傷缺陷,進(jìn)而影響其使役性能。為實(shí)現(xiàn)硬脆材料微小零件三維結(jié)構(gòu)的少缺陷,甚至無(wú)缺陷的高質(zhì)量及高效率加工,本文將化學(xué)機(jī)械加工技術(shù)中的化學(xué)改性作用引入到微細(xì)磨削加工中,側(cè)重研究化學(xué)改性液對(duì)單晶硅材料實(shí)現(xiàn)化學(xué)改性的反應(yīng)條件并分析其理化性能;優(yōu)化化學(xué)改性液溶液反應(yīng)條件參數(shù),探討化學(xué)機(jī)械微細(xì)磨削過程中化學(xué)改性液對(duì)單晶硅材料的改性機(jī)理。本文具體研究?jī)?nèi)容包括:（1）單晶硅化學(xué)改性機(jī)理研究。以（100）晶面單晶硅為研究對(duì)象,在材料性能分析基礎(chǔ)上,確定化學(xué)改性液成分,分析能量輸入引發(fā)單晶硅化學(xué)改性的原理,設(shè)計(jì)單晶硅化學(xué)改性液實(shí)驗(yàn)以及介紹理化性能分析測(cè)試方法。（2）單晶硅化學(xué)改性液化學(xué)性能研究。設(shè)計(jì)基于化學(xué)改性液中堿濃度、pH值、反應(yīng)溫度和溶液成分變化的單晶硅化學(xué)改性單因素實(shí)驗(yàn),分析各因素變化對(duì)單晶硅材料化學(xué)改性程度的影響。基于電感耦合等離子體質(zhì)譜檢測(cè)和紅外光譜檢測(cè),分別分析了化學(xué)改性后溶液中的S... 

【文章來源】：湖南大學(xué)湖南省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

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【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

化學(xué)機(jī)械微細(xì)磨削加工示意圖

單晶硅的晶體結(jié)構(gòu)

（a）化學(xué)改性前 （b）化學(xué)改性后圖 2.3 化學(xué)改性前后單晶硅材料進(jìn)行化學(xué)改性實(shí)驗(yàn)首先即是配制化學(xué)改性液，如圖 2.2 所示，為了使整制過程流暢、有序，首先集中準(zhǔn)備好配制溶液所需的化學(xué)試劑、稱量工

【參考文獻(xiàn)】：
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