單晶硅是光伏產(chǎn)業(yè)、航空和航天等高性能零件應用領域常用的硬脆材料,具有化學穩(wěn)定性好、硬度大、脆性高、耐磨性好、化學機械性能優(yōu)良等特點。在對單晶硅進行三維微結(jié)構微細磨削加工過程中,極易產(chǎn)生棱角邊刃裂紋、崩邊、缺角等加工損傷缺陷,進而影響其使役性能。為實現(xiàn)硬脆材料微小零件三維結(jié)構的少缺陷,甚至無缺陷的高質(zhì)量及高效率加工,本文將化學機械加工技術中的化學改性作用引入到微細磨削加工中,側(cè)重研究化學改性液對單晶硅材料實現(xiàn)化學改性的反應條件并分析其理化性能;優(yōu)化化學改性液溶液反應條件參數(shù),探討化學機械微細磨削過程中化學改性液對單晶硅材料的改性機理。本文具體研究內(nèi)容包括:（1）單晶硅化學改性機理研究。以（100）晶面單晶硅為研究對象,在材料性能分析基礎上,確定化學改性液成分,分析能量輸入引發(fā)單晶硅化學改性的原理,設計單晶硅化學改性液實驗以及介紹理化性能分析測試方法。（2）單晶硅化學改性液化學性能研究。設計基于化學改性液中堿濃度、pH值、反應溫度和溶液成分變化的單晶硅化學改性單因素實驗,分析各因素變化對單晶硅材料化學改性程度的影響�；陔姼旭詈系入x子體質(zhì)譜檢測和紅外光譜檢測,分別分析了化學改性后溶液中的S... 

【文章來源】：湖南大學湖南省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：71 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

化學機械微細磨削加工示意圖

單晶硅的晶體結(jié)構

（a）化學改性前 （b）化學改性后圖 2.3 化學改性前后單晶硅材料進行化學改性實驗首先即是配制化學改性液，如圖 2.2 所示，為了使整制過程流暢、有序，首先集中準備好配制溶液所需的化學試劑、稱量工

【參考文獻】：
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本文編號：3511040