為了增強(qiáng)合金表面的耐磨性和耐蝕性,提高合金的使用壽命,磁控濺射硬質(zhì)膜層近年來(lái)受到廣泛的研究。介紹了磁控濺射技術(shù)的原理及特點(diǎn),綜述了磁控濺射技術(shù)制備硬質(zhì)膜層的研究進(jìn)展。結(jié)合近年來(lái)的實(shí)驗(yàn)研究,綜述了濺射參數(shù)對(duì)硬質(zhì)膜層性能的影響研究。對(duì)磁控濺射技術(shù)制備硬質(zhì)膜層的發(fā)展進(jìn)行了展望。 

【文章來(lái)源】：熱加工工藝. 2020,49(20)北大核心

【文章頁(yè)數(shù)】：4 頁(yè)

【文章目錄】：
1 磁控濺射技術(shù)的基本原理和特點(diǎn)
2 磁控濺射技術(shù)制備硬質(zhì)膜層的研究
    2.1 在TA19合金表面制備Ti Al N復(fù)合膜層的研究現(xiàn)狀
    2.2 在TC4合金表面制備Ti Al N復(fù)合膜層的研究現(xiàn)狀
    2.3 在AZ91D鎂合金表面制備Ti膜層的研究現(xiàn)狀
3 濺射參數(shù)對(duì)硬質(zhì)膜層性能影響的研究進(jìn)展
    3.1 濺射氣壓對(duì)硬質(zhì)膜層的影響
    3.2 濺射功率對(duì)硬質(zhì)膜層的影響
    3.3 濺射時(shí)間對(duì)硬質(zhì)膜層的影響
    3.4 基底偏壓對(duì)硬質(zhì)膜層的影響
    3.5 基底溫度對(duì)硬質(zhì)膜層的影響
4 結(jié)語(yǔ)與展望


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號(hào)：3333980