為了排除Pile-up現(xiàn)象對真空鍍制機刻光柵厚鋁膜在納米壓痕測試硬度中的影響,獲得中階梯光柵鋁膜準確硬度值,提出通過修正O&P法中接觸投影面積的新硬度計算方法。首先,參照中階梯光柵成槽深度,采用連續(xù)剛度測試模式,對中階梯光柵厚鋁膜進行壓入深度為5μm的納米壓痕硬度測試。其次,對壓痕位置進行SEM與AFM測試,結(jié)果表明厚鋁膜在納米壓痕硬度測試中出現(xiàn)Pile-up現(xiàn)象。最后,對鋁膜納米壓痕數(shù)據(jù)分析、提取,壓痕隆起形貌復(fù)原等,證明接觸面投影面積邊緣為拋物線,進而對O&P法中接觸投影面積的計算方法進行修正。結(jié)果表明:采用納米壓痕硬度測試方法,中階梯光柵厚鋁膜的硬度值隨著壓深增加而增加,采用修正接觸投影面積的硬度修正計算方法獲得的硬度值比傳統(tǒng)O&P法所得硬度值減少40%左右。 

【文章來源】：制造技術(shù)與機床. 2020,(07)北大核心

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
1 納米壓痕硬度計算方法-O&P法
    1.1 納米壓痕硬度
    1.2 O&P法
2 接觸投影面積修正
    2.1 試驗
    2.2 接觸投影面積的修正
    2.3 修正硬度結(jié)果分析
3 結(jié)語


【參考文獻】：
期刊論文
[1]殘余應(yīng)力與基底效應(yīng)對光柵厚鋁膜納米壓痕耦合影響研究[J]. 張寶慶,王占鵬,龐壯,韋赟杰,孫立華,高勁松.  制造技術(shù)與機床. 2018(06)
[2]中階梯衍射光柵厚鋁膜硬度研究[J]. 張寶慶,王占鵬,高勁松.  制造技術(shù)與機床. 2018(02)
[3]衍射光柵機械刻劃成槽的預(yù)控試驗[J]. 張寶慶,史國權(quán),石廣豐,蔡洪彬,張善文.  光學精密工程. 2013(07)



本文編號：3242605