發(fā)布時間：2021-05-25 21:24

　　拋光是揭示樣品內(nèi)部信息的重要方法,尤其是在對樣品平整度、殘余應(yīng)力、雜質(zhì)含量等要求較高的顯微分析測試中,高質(zhì)量的拋光更為重要�；陔x子濺射原理的寬離子束（BIB）拋光方法是近年來興起的先進(jìn)拋光方法,相比傳統(tǒng)拋光方法（如機(jī)械拋光、電化學(xué)拋光和化學(xué)拋光）具有諸多優(yōu)勢。本文通過典型實(shí)例展示了BIB拋光技術(shù)在多種特殊材料拋光中的獨(dú)特優(yōu)勢。以LaFeSi/Al復(fù)合材料為例,闡述了BIB拋光在各相硬度差異大、應(yīng)力敏感度高的多相復(fù)合材料樣品制備中的優(yōu)勢;以常規(guī)球形顆粒NiCoMn的斷面樣品和片狀云母粉末斷面樣品制備為例,對比說明了前處理工藝對BIB拋光的重要性;以多孔/致密結(jié)構(gòu)的雙層電解質(zhì)為例展示了BIB拋光在高孔隙率材料斷面樣品制備中的優(yōu)勢;以SmCo合金為例分析了金屬涂層材料在BIB拋光中常見的濺射反沉積現(xiàn)象,并提供避免實(shí)驗(yàn)假象的解決方案。 

【文章來源】：電子顯微學(xué)報. 2020,39(04)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：9 頁

【文章目錄】：
1 實(shí)驗(yàn)方法
2 結(jié)果與討論
    2.1 復(fù)合材料的拋光
    2.2 粉末材料的拋光
    2.3 有取向的粉末材料的拋光
    2.4 多孔材料的拋光
    2.5 涂層材料的拋光
3 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]基于全因子實(shí)驗(yàn)設(shè)計的離子拋光工藝研究[J]. 馬曉麗,劉禮,王立強(qiáng),李曉玲,曹力軍.  電子顯微學(xué)報. 2019(03)
[2]探究消除離子拋光截面樣品上波紋現(xiàn)象的方法[J]. 杜凱,張燚,劉爭暉,鐘海艦,宋文濤,張春玉,陳科蓓,徐耿釗,徐科.  電子顯微學(xué)報. 2018(03)
[3]氬離子拋光-環(huán)境掃描電鏡在頁巖納米孔隙研究中的應(yīng)用——以遼中凹陷JX地區(qū)沙一段為例[J]. 程涌,劉聰,吳偉,文義明,聶琪,盧萍.  電子顯微學(xué)報. 2018(01)
[4]東營凹陷古近系沙四段頁巖微觀孔隙結(jié)構(gòu)特征[J]. 王娟,吳偉,黃雪峰.  電子顯微學(xué)報. 2017(04)
[5]基于氮?dú)馕?核磁共振-氬離子拋光場發(fā)射掃描電鏡研究川西須五段泥質(zhì)巖儲層孔隙結(jié)構(gòu)[J]. 龐河清,曾焱,劉成川,黎華繼,彭軍,嚴(yán)煥榕,陳俊.  巖礦測試. 2017(01)



本文編號：3206030