采用直線型磁過(guò)濾多弧離子鍍技術(shù)在9Cr18鋼表面制備了氮化鈦薄膜,研究了磁過(guò)濾技術(shù)對(duì)氮化鈦薄膜表面形貌、結(jié)構(gòu)和物理機(jī)械性能的影響,并選用不同的液體潤(rùn)滑劑與氮化鈦薄膜進(jìn)行復(fù)配,系統(tǒng)考察了氮化鈦薄膜/液體潤(rùn)滑劑復(fù)合體系在真空環(huán)境中的摩擦學(xué)性能；進(jìn)一步考察了織構(gòu)化氮化鈦薄膜/液體潤(rùn)滑劑固液復(fù)合潤(rùn)滑體系的摩擦學(xué)性能。本論文主要研究結(jié)果如下：（1）增加磁過(guò)濾技術(shù)在一定程度上能有效的過(guò)濾掉宏觀顆粒,減小了薄膜生長(zhǎng)過(guò)程中的缺陷。采用磁過(guò)濾多弧離子鍍技術(shù)比多弧離子鍍技術(shù)制備的氮化鈦薄膜晶粒更加細(xì)小,結(jié)構(gòu)更加致密,孔隙率低,薄膜表面光滑平整,膜-基結(jié)合力和硬度更高。離子轟擊和晶粒細(xì)化是氮化鈦薄膜物理機(jī)械性能提高的主要原因。（2）與鋼／鋼摩擦副在油潤(rùn)滑條件下的真空潤(rùn)滑性能相比,氮化鈦/液體潤(rùn)滑劑復(fù)合體系在真空環(huán)境中表現(xiàn)出優(yōu)異的潤(rùn)滑性能,降低了摩擦系數(shù)與摩損率。在四種復(fù)合體系中,TiN/114#硅油復(fù)合體系表現(xiàn)出較差的抗磨性能,PFPE、MACs和P201與氮化鈦組成的復(fù)合體系潤(rùn)滑性能優(yōu)異,TiN/P201復(fù)合體系表現(xiàn)出較小的磨損率。復(fù)合體系的摩擦磨損機(jī)理主要表現(xiàn)為粘著磨損和磨粒磨損,液體潤(rùn)滑劑的潤(rùn)濕性、運(yùn)... 

【文章來(lái)源】：蘭州大學(xué)甘肅省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁(yè)數(shù)】：86 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖１－２直線型磁過(guò)濾多弧離子銀結(jié)構(gòu)及原理示意圖［３８］??１．３．３氮化鐵薄膜的性能、應(yīng)用及研究現(xiàn)狀??

２．２．１巧膜制備??分別采用多弧離子錠（ＭＩＰ）和直線型磁過(guò)濾弧多弧離子錐技術(shù)（ＳＴＦＩＰ）??制備了?ＴｉＮ薄膜。多弧離子錐怨膜裝置見(jiàn)圖２－１。多弧離子鍛設(shè)備陰極所用祀材??為純度９９．９９％的Ｔｉ靴，所用氣體為高純Ｎ２（純度９９．９９％）。薄膜沉積工藝參數(shù)見(jiàn)??表?２－１。??ｂ??；■？。巧巧？一，‘?－?？?ｒ?ｒ?＂??Ｌ?一ｃ－＇ｒ：，．??圖２－１多弧離子彼被膜裝置??２０??

．．．．若本靈＾?．，?－??ｔ??圖２－３?多弧離子巧沉積ＴｉＮ薄膜的表面及斷面ＳＥＭ照片??義；義？班．．??備聲導(dǎo)…人．…店斟兵??和、。?＊?．?．??圖２－４?過(guò)濾弧沉積ＴｉＮ薄膜的表面及斷面ＳＥＭ照片??２３??

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]離子轟擊對(duì)HIPIMS制備TiN薄膜結(jié)構(gòu)和性能的影響[J]. 王振玉,張棟,柯培玲,劉新才,汪愛(ài)英.  真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2014(03)
[2]空間液體潤(rùn)滑劑的研究進(jìn)展[J]. 黃志洋,楊鶴,彭茜,宋海清,劉順濤,張建榮.  石油商技. 2014(01)
[3]中頻磁控濺射制備不同S/W原子比WSx薄膜的結(jié)構(gòu)和摩擦學(xué)性能研究[J]. 徐書(shū)生,高曉明,胡明,孫嘉奕,翁立軍,劉維民.  摩擦學(xué)學(xué)報(bào). 2013(05)
[4]直流磁控濺射法在玻璃基片上制備TiN薄膜[J]. 王有欣,毛明旭,王英才,單玉橋.  中國(guó)表面工程. 2013(02)
[5]織構(gòu)化提高表面摩擦學(xué)性能的研究進(jìn)展[J]. 趙文杰,王立平,薛群基.  摩擦學(xué)學(xué)報(bào). 2011(06)
[6]摩擦學(xué)的進(jìn)展和未來(lái)[J]. 雒建斌,李津津.  潤(rùn)滑與密封. 2010(12)
[7]濺射二硫化鉬膜在不同潤(rùn)滑條件下的摩擦學(xué)性能分析[J]. 黃敦新,白越,黎海文,吳一輝.  摩擦學(xué)學(xué)報(bào). 2010(03)
[8]固體-油脂復(fù)合潤(rùn)滑Ⅰ:二硫化鉬膜在干摩擦及空間用油脂潤(rùn)滑下的摩擦學(xué)性能[J]. 郝俊英,翁立軍,孫嘉奕,劉維民.  摩擦學(xué)學(xué)報(bào). 2010(02)
[9]ZL109鋁合金表面離子鍍TiN薄膜及耐磨性[J]. 王自榮,潘應(yīng)君,唐望生,欒成,鄧敏,溫玉磊.  特種鑄造及有色合金. 2010(02)
[10]摩擦學(xué)系統(tǒng)的系統(tǒng)理論研究和建模[J]. 謝友柏.  摩擦學(xué)學(xué)報(bào). 2010(01)

博士論文
[1]TiN-W/Mo（Sx）復(fù)合涂層的制備、結(jié)構(gòu)和摩擦學(xué)性能研究[D]. 田斌.中國(guó)地質(zhì)大學(xué)（北京） 2014
[2]空間潤(rùn)滑諧波減速器失效機(jī)理及其加速壽命試驗(yàn)方法研究[D]. 李俊陽(yáng).重慶大學(xué) 2012
[3]磁控濺射Ti/TiN多層薄膜制備及其性能研究[D]. 胡敏.南昌大學(xué) 2010

碩士論文
[1]TiN系硬質(zhì)薄膜的制備及性能研究[D]. 張啟沛.華南理工大學(xué) 2014
[2]中頻非平衡磁控濺射制備TiA1N薄膜及其性能研究[D]. 譚剛.西華大學(xué) 2014
[3]ZL109鋁合金表面離子鍍TiN膜的工藝及性能研究[D]. 王自榮.武漢科技大學(xué) 2010
[4]磁控濺射法制備氮化鈦薄膜及其結(jié)構(gòu)與電性能研究[D]. 劉倩.南昌大學(xué) 2009
[5]磁控濺射制備氮化鈦及其復(fù)合薄膜材料的耐腐蝕性研究[D]. 王世紅.中國(guó)石油大學(xué) 2008
[6]反應(yīng)磁控濺射法制備TiN薄膜的研究[D]. 楊凱.東南大學(xué) 2006
[7]磁控濺射TiN及ZrN薄膜的特性研究[D]. 徐成俊.重慶大學(xué) 2005
[8]新型低輻射薄膜TiN的APCVD法制備及性能研究[D]. 張濤.浙江大學(xué) 2005



本文編號(hào)：3103909