采用直線型磁過濾多弧離子鍍技術(shù)在9Cr18鋼表面制備了氮化鈦薄膜,研究了磁過濾技術(shù)對氮化鈦薄膜表面形貌、結(jié)構(gòu)和物理機械性能的影響,并選用不同的液體潤滑劑與氮化鈦薄膜進行復(fù)配,系統(tǒng)考察了氮化鈦薄膜/液體潤滑劑復(fù)合體系在真空環(huán)境中的摩擦學(xué)性能；進一步考察了織構(gòu)化氮化鈦薄膜/液體潤滑劑固液復(fù)合潤滑體系的摩擦學(xué)性能。本論文主要研究結(jié)果如下：（1）增加磁過濾技術(shù)在一定程度上能有效的過濾掉宏觀顆粒,減小了薄膜生長過程中的缺陷。采用磁過濾多弧離子鍍技術(shù)比多弧離子鍍技術(shù)制備的氮化鈦薄膜晶粒更加細小,結(jié)構(gòu)更加致密,孔隙率低,薄膜表面光滑平整,膜-基結(jié)合力和硬度更高。離子轟擊和晶粒細化是氮化鈦薄膜物理機械性能提高的主要原因。（2）與鋼／鋼摩擦副在油潤滑條件下的真空潤滑性能相比,氮化鈦/液體潤滑劑復(fù)合體系在真空環(huán)境中表現(xiàn)出優(yōu)異的潤滑性能,降低了摩擦系數(shù)與摩損率。在四種復(fù)合體系中,TiN/114#硅油復(fù)合體系表現(xiàn)出較差的抗磨性能,PFPE、MACs和P201與氮化鈦組成的復(fù)合體系潤滑性能優(yōu)異,TiN/P201復(fù)合體系表現(xiàn)出較小的磨損率。復(fù)合體系的摩擦磨損機理主要表現(xiàn)為粘著磨損和磨粒磨損,液體潤滑劑的潤濕性、運... 

【文章來源】：蘭州大學(xué)甘肅省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：86 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖１－２直線型磁過濾多弧離子銀結(jié)構(gòu)及原理示意圖［３８］??１．３．３氮化鐵薄膜的性能、應(yīng)用及研究現(xiàn)狀??

２．２．１巧膜制備??分別采用多弧離子錠（ＭＩＰ）和直線型磁過濾弧多弧離子錐技術(shù)（ＳＴＦＩＰ）??制備了?ＴｉＮ薄膜。多弧離子錐怨膜裝置見圖２－１。多弧離子鍛設(shè)備陰極所用祀材??為純度９９．９９％的Ｔｉ靴，所用氣體為高純Ｎ２（純度９９．９９％）。薄膜沉積工藝參數(shù)見??表?２－１。??ｂ??；■？。巧巧？一，‘?－?？?ｒ?ｒ?＂??Ｌ?一ｃ－＇ｒ：，．??圖２－１多弧離子彼被膜裝置??２０??

．．．．若本靈＾?．，?－??ｔ??圖２－３?多弧離子巧沉積ＴｉＮ薄膜的表面及斷面ＳＥＭ照片??義；義？班．．??備聲導(dǎo)…人．…店斟兵??和、。?＊?．?．??圖２－４?過濾弧沉積ＴｉＮ薄膜的表面及斷面ＳＥＭ照片??２３??

【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3103909