時(shí)代在進(jìn)步,科技在發(fā)展。隨著機(jī)械微型化的不斷發(fā)展,微細(xì)零件在醫(yī)療、航空、精密儀器等行業(yè)的需求量與日俱增,因而涌現(xiàn)出了微細(xì)電火花加工、微細(xì)電解加工、光刻加工、激光加工以及微細(xì)超聲加工等多種微細(xì)加工方法以滿足生產(chǎn)的需求。微細(xì)超聲加工是一種特別適用于加工石英晶體、工程陶瓷等硬脆性材料的加工方法。微細(xì)超聲加工主要通過(guò)磨粒沖擊脆硬性材料表面達(dá)到去除材料的目的,其既可以加工導(dǎo)電材料也可以加工非導(dǎo)電材料,而且不受材料導(dǎo)熱性的影響,還能夠加工出高深寬比和復(fù)雜微小三維型腔的零件。在微細(xì)超聲加工微孔時(shí),隨著工具進(jìn)給深度的增加,加工力隨著工具的向下進(jìn)給而增大,甚至?xí)沟霉ぞ哒蹟?從而導(dǎo)致無(wú)法繼續(xù)加工。這種現(xiàn)象在恒力和恒速加工中均存在。造成這種現(xiàn)象的原因是當(dāng)加工深度增加到一定程度時(shí),孔的底部已經(jīng)磨損的磨粒無(wú)法與外界新的磨粒得到交換,加工屑難以排出,使得工具直接撞擊工件,引起加工力增大,材料無(wú)法去除,最終導(dǎo)致工具彎曲甚至折斷。針對(duì)上述問(wèn)題,本文提出使用工具搖動(dòng)輔助超聲波加工微孔的方法。工具搖動(dòng)加工技術(shù)最先是在電火花加工中提出的,其是靠主伺服加工軸以外的運(yùn)動(dòng)軸來(lái)進(jìn)行有規(guī)律、周期的插補(bǔ)運(yùn)動(dòng)配合主軸伺服進(jìn)給運(yùn)動(dòng)的加工... 

【文章來(lái)源】：大連理工大學(xué)遼寧省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁(yè)數(shù)】：68 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
1 緒論
    1.1 選題依據(jù)
        1.1.1 課題來(lái)源
        1.1.2 課題研究背景
    1.2 微細(xì)超聲加工技術(shù)發(fā)展概述
        1.2.1 超聲加工技術(shù)原理
        1.2.2 超聲加工技術(shù)的發(fā)展及應(yīng)用
    1.3 微細(xì)超聲加工大深徑比孔的研究
    1.4 工具搖動(dòng)加工的研究現(xiàn)狀
    1.5 論文的主要研究?jī)?nèi)容
2 微細(xì)超聲加工裝置及其控制程序
    2.1 微細(xì)超聲加工裝置
        2.1.1 微細(xì)工具在線制備模塊
        2.1.2 伺服進(jìn)給系統(tǒng)及旋轉(zhuǎn)主軸模塊
        2.1.3 微細(xì)超聲加工模塊
        2.1.4 加工狀態(tài)檢測(cè)模塊
        2.1.5 實(shí)時(shí)觀測(cè)與測(cè)量模塊
    2.2 微細(xì)超聲加工控制程序
        2.2.1 伺服控制模塊
        2.2.2 搖動(dòng)程序模塊
        2.2.3 探測(cè)感知模塊
3 可行性實(shí)驗(yàn)
    3.1 測(cè)量振幅
    3.2 搖動(dòng)參數(shù)的選擇
    3.3 計(jì)算工具磨損長(zhǎng)度
    3.4 實(shí)驗(yàn)條件
    3.5 實(shí)驗(yàn)過(guò)程及注意事項(xiàng)
        3.5.1 實(shí)驗(yàn)步驟
        3.5.2 注意事項(xiàng)
    3.6 實(shí)驗(yàn)結(jié)果及分析
    3.7 實(shí)驗(yàn)中發(fā)現(xiàn)的問(wèn)題
    3.8 小結(jié)
4 工具搖動(dòng)輔助超聲波微孔加工
    4.1 實(shí)驗(yàn)方案及條件
    4.2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果及分析
        4.2.1 有無(wú)工具搖動(dòng)輔助超聲波微孔加工實(shí)驗(yàn)結(jié)果
        4.2.2 工具搖動(dòng)對(duì)加工效率的影響
        4.2.3 工具搖動(dòng)對(duì)深徑比的影響
        4.2.4 工具搖動(dòng)對(duì)工具磨損的影響
        4.2.5 工具搖動(dòng)對(duì)加工間隙的影響
    4.3 小結(jié)
結(jié)論
參考文獻(xiàn)
攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表學(xué)術(shù)論文情況
致謝



本文編號(hào)：2945049