高純鎂和高純鉬的質譜純度分析及其結果不確定度評定
【學位授予單位】:鋼鐵研究總院
【學位級別】:碩士
【學位授予年份】:2018
【分類號】:O657.63;TG146.22
【圖文】:
223為質量轉移和原位質量模式。在半導體行業(yè),ICP-MS 分析高i、P 存在嚴重的質譜干擾,如30Si1H 對31P、30Si16O 對46Ti、30而采用氧氣質量轉移模式的 ICP-MS/MS 可將 P 和 Ti 以其氧化1P16O+的形式準確測定[38]。放電質譜(GD-MS)法S 可直接分析固體樣品,以輝光放電離子發(fā)生器作為離子源,金材料、導體、半導體和非導體材料中元素的定性、定量分析深度分析等。該方法具有分辨率高、檢測限很低、檢測范圍大解即可固體直接測量等優(yōu)點,廣泛的應用在無機材料的雜質分光放電電,即氣體在低壓下放電,圖 1-1 是一個輝光放電裝置。陰極,加上千伏電壓,氬氣被電離產(chǎn)生 Ar+,在電場的作用下,加的樣品表面被 Ar+碰撞后,濺射出原子、二次離子和二次電子等
光放電的陰極濺射和電離濺射是 Ar+在電場作用下加速撞擊樣品表面,處于晶格中的原子,脫離樣品表面。濺射率表示為濺射的程度,是單位時間濺射質量或深度[43]。放電主要有兩種電離方式:電子轟擊電離和彭寧電離。電子轟擊惰性氣體大量電離產(chǎn)生的電子碰撞濺射原子而發(fā)生的激發(fā)、電離表示為 A + e → A++ e2+,其中 A 代表樣品原子。彭寧電離是與被濺射出原子作用發(fā)生能量傳遞使樣品原子電離,同時釋放出化方式可表示為Ar + A → Ar + A++ e+,其中 A 代表樣品原子的原理如圖 2 所示,其中過程(3)是電子轟擊電離,過程(1)離由于原子化與離子化是分離的,基體效應弱,無標準物質/標出較準確的分析結果[44]。
檢測液體樣品,R.Kenneth Marcus 等[73]人設計了一種離子的毛細管作為輝光放電源的陰極,在大氣壓環(huán)境下毛細樣品朝樣品錐移動并發(fā)生離子化,叫作液體樣品-大氣壓ampling-atmospheric pressure glow discharge,LS-APGD)。,LS-APGD 離子源可在低電壓(小于 5 瓦)、低液體流速消耗量少,方便更換液體樣品類型,交叉污染少。
【參考文獻】
相關期刊論文 前10條
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本文編號:2743968
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