【摘要】：微細(xì)電解加工技術(shù)采用非接觸式采用陽極溶解原理對(duì)工件進(jìn)行加工成型。加工過程中材料以離子的方式蝕除,具有加工精度高,無傳統(tǒng)機(jī)械加工產(chǎn)生的殘余應(yīng)力,與加工材料的硬度無關(guān)等優(yōu)點(diǎn),這種加工方式在微細(xì)結(jié)構(gòu)和零件加工領(lǐng)域具有重要意義。本文提出反饋控制微細(xì)電化學(xué)加工技術(shù),通過調(diào)節(jié)反饋系數(shù)控制達(dá)到加工電位的時(shí)間常數(shù),運(yùn)用此方法可以達(dá)到納秒級(jí)脈沖的加工精度,降低試驗(yàn)成本。首先,進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)設(shè)備調(diào)試,建立了工具電極的電化學(xué)加工模型,對(duì)加工過程進(jìn)行理論分析。通過實(shí)驗(yàn)對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行了分析和優(yōu)選,使用最優(yōu)加工參數(shù)完成了電極加工。第二,完成了加法器、比例放大器等電路元件的制作,建立了反饋控制脈沖微細(xì)電化學(xué)加工電路模型,推導(dǎo)出反饋系統(tǒng)數(shù)學(xué)模型,分析了反饋控制微細(xì)電化學(xué)加工技術(shù)的加工特性。研究了不同加工精度、不同反饋系數(shù)、不同電極直徑參數(shù)下時(shí)間常數(shù)變化規(guī)律,完成了加入反饋電路前后電路中脈沖響應(yīng)波形的測試,且與理論推導(dǎo)結(jié)果進(jìn)行了對(duì)比。第三,研制了反饋控制微細(xì)電化學(xué)加工系統(tǒng),通過試驗(yàn)研究了工藝參數(shù)對(duì)微孔加工精度的影響。完成了微孔、微槽、U型懸臂梁和雙梁微結(jié)構(gòu)微細(xì)加工。利用VB軟件編寫圓臺(tái)銑削插補(bǔ)程序,進(jìn)行了微圓臺(tái)的銑削實(shí)驗(yàn),優(yōu)化了圓臺(tái)銑削參數(shù),使用優(yōu)化后的加工參數(shù)加工出微圓臺(tái)。
【圖文】：

離子束刻蝕技術(shù)引入超短窄脈沖微細(xì)電化學(xué)技術(shù))所示的微結(jié)構(gòu)，其線寬僅有 90nm。使用上述加結(jié)構(gòu)加工尺寸為 200nm，，結(jié)構(gòu) z 軸進(jìn)給量為 20μm[螺旋槽[13]b) 微

a) 成型電極 b) 型腔微結(jié)構(gòu)圖 1-2 成型電極和加工的型腔微結(jié)構(gòu)[17]a) 微齒輪 b) 鋼板上的微槽圖 1-3 超短脈沖微細(xì)電解加工的微結(jié)構(gòu)[18-20]
【學(xué)位授予單位】：燕山大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2018
【分類號(hào)】：TG662

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2699664