本文關(guān)鍵詞：高速精密氣浮定位平臺(tái)設(shè)計(jì)方法，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】： 本文提出了一種面向IC封裝的高速精密氣浮定位平臺(tái)。深入研究了以小孔節(jié)流靜壓氣浮導(dǎo)軌支承高速精密定位平臺(tái)的靜態(tài)特性和設(shè)計(jì)方法。本文主要研究?jī)?nèi)容和研究成果可以概括為以下幾個(gè)方面: 根據(jù)流體力學(xué)連續(xù)性方程和運(yùn)動(dòng)方程,研究了小孔節(jié)流靜壓氣浮導(dǎo)軌的特性,分析了小孔節(jié)流器孔徑和氣膜厚度與靜壓氣浮導(dǎo)軌承載能力、剛度和耗氣量的內(nèi)在關(guān)系,給出了靜壓氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方法。 通過(guò)模擬仿真給出了靜壓氣浮導(dǎo)軌的一組優(yōu)化參數(shù),并校核了所設(shè)計(jì)的高速精密氣浮平臺(tái)的靜態(tài)性能。 提出了一種基于音圈電機(jī)直接驅(qū)動(dòng),靜壓氣浮導(dǎo)軌支承,靜壓氣浮解耦的高速精密定位平臺(tái)。該方案應(yīng)用了音圈電機(jī)直接驅(qū)動(dòng),消除了現(xiàn)有精密定位平臺(tái)常用的伺服電機(jī)-滾動(dòng)絲杠-螺母機(jī)構(gòu)形式存在返程間隙和摩擦的問(wèn)題;應(yīng)用了靜壓氣浮導(dǎo)軌支承,消除了滾動(dòng)導(dǎo)軌支承存在摩擦的問(wèn)題;應(yīng)用氣浮解耦機(jī)構(gòu)將驅(qū)動(dòng)電機(jī)布置在基座上,減小了運(yùn)動(dòng)慣量。這些措施為高速精密定位平臺(tái)性能的提高提供了可能。 設(shè)計(jì)和繪制了高速精密氣浮定位平臺(tái)整機(jī)裝配圖及零件圖。以上研究豐富了高速精密氣浮定位平臺(tái)的設(shè)計(jì)和制造理論,具有較高的理論意義和工程應(yīng)用價(jià)值,為高速精密氣浮定位平臺(tái)的制造和進(jìn)一步研究奠定了良好的基礎(chǔ)。
【關(guān)鍵詞】：靜壓氣浮導(dǎo)軌 精密定位平臺(tái) 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 小孔節(jié)流
【學(xué)位授予單位】：天津大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2007
【分類號(hào)】：TG502.3
【目錄】：

• 中文摘要3-4
• 英文摘要4-7
• 第一章 緒論7-15
• 1.1 課題背景及研究意義7-8
• 1.2 國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀8-14
• 1.2.1 驅(qū)動(dòng)方式9-11
• 1.2.2 運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)形式11-13
• 1.2.3 導(dǎo)軌支承形式13-14
• 1.3 存在的問(wèn)題和發(fā)展方向14
• 1.4 課題的提出和本文主要內(nèi)容14-15
• 第二章 靜壓氣浮導(dǎo)軌的靜態(tài)特性計(jì)算15-30
• 2.1 引言15
• 2.2 靜壓氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)及工作原理15-18
• 2.2.1 氣體潤(rùn)滑技術(shù)15-16
• 2.2.2 典型節(jié)流器形式16-17
• 2.2.3 靜壓氣浮導(dǎo)軌的工作原理17-18
• 2.3 靜壓氣浮導(dǎo)軌的靜態(tài)承載能力、剛度和耗氣量18-26
• 2.3.1 氣體在節(jié)流孔中的流動(dòng)18-21
• 2.3.2 氣浮導(dǎo)軌潤(rùn)滑間隙中的壓力分布情況21-25
• 2.3.3 靜壓氣浮導(dǎo)軌的靜態(tài)承載能力和剛度25-26
• 2.3.4 耗氣量26
• 2.4 計(jì)算實(shí)例及仿真26-29
• 2.5 小結(jié)29-30
• 第三章 基于音圈電機(jī)的高速精密氣浮定位平臺(tái)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)30-41
• 3.1 引言30
• 3.2 音圈電機(jī)的基本原理30-31
• 3.3 氣浮兩自由度精密定位平臺(tái)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)31-38
• 3.3.1 平臺(tái)總體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)31-33
• 3.3.2 氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)33-35
• 3.3.3 節(jié)流孔孔徑和氣膜厚度的設(shè)計(jì)及承載能力校核35-38
• 3.4 高速精密氣浮平臺(tái)裝配圖及零件圖的繪制38
• 3.5 小結(jié)38-41
• 第四章 結(jié)論41-42
• 4.1 全文主要結(jié)論41
• 4.2 后續(xù)工作展望41-42
• 參考文獻(xiàn)42-45
• 發(fā)表論文和科研情況說(shuō)明45-46
• 致謝46

【引證文獻(xiàn)】

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 王福軍;芯片鍵合高速精密定位系統(tǒng)設(shè)計(jì)與控制[D];天津大學(xué);2010年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前5條

1 宋浩;激光干涉納米光刻樣品定位技術(shù)與系統(tǒng)的研究[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2011年

2 丁亮亮;高精度單針接觸式螺紋測(cè)量?jī)x的設(shè)計(jì)與研究[D];南京航空航天大學(xué);2011年

3 段雅麗;超精密車床控制系統(tǒng)及相關(guān)加工參數(shù)的研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2011年

4 張旭忠;直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的氣浮導(dǎo)軌實(shí)驗(yàn)臺(tái)研制[D];西安工業(yè)大學(xué);2012年

5 趙雷;基于柔性鉸鏈設(shè)計(jì)的直線超聲電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)動(dòng)力學(xué)研究[D];南京航空航天大學(xué);2012年

  本文關(guān)鍵詞：高速精密氣浮定位平臺(tái)設(shè)計(jì)方法，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

本文編號(hào)：259511