【摘要】：作為精密超精密光學制造工藝過程中的一個重要環(huán)節(jié),各種新型表面拋光方法與工藝始終吸引著科研人員不斷深入研究與探索。磨料射流拋光方法為小型復雜零件的表面拋光提供了一個新思路,成為精密超精密光學加工技術(shù)的重要組成部分。對磨料射流表面拋光過程中衍生的磨料水射流拋光、磁射流拋光、負壓吸流拋光、磨料氣射流拋光、冰粒水射流拋光、納米膠體射流拋光的拋光原理、方法及特點進行了綜述,分析了各射流表面拋光技術(shù)材料去除的最新發(fā)展;從加工原理、磨料選擇、拋光精度、數(shù)學模型等方面對上述新型射流拋光技術(shù)進行深入分析與比較,其中磁射流拋光、納米膠體射流拋光、磨料水射流拋光的拋光精度較高,可以實現(xiàn)表面粗糙度納米級的超精密拋光,而磨料氣射流拋光、冰粒射流拋光從加工成本上來講則相對較低。最后,對磨料射流表面拋光在去除函數(shù)優(yōu)化、精度效率的提高、應(yīng)用范圍擴展、在線檢測、商業(yè)化應(yīng)用等方面的發(fā)展趨勢進行了預測。
【圖文】：

夷巖員Ｖづ墜庵柿坑脛馗蔥?［1］。因此，國內(nèi)外學者開始對新型拋光方法進行研究，這也成為超精密光學制造領(lǐng)域的一個重要課題。磨料水射流拋光(abrasivewaterjetpolishing，AJP)正是這一背景下的產(chǎn)物，AJP以其獨特的材料去除方式，穩(wěn)定而細小的去除函數(shù)以及對工件形狀較強的適應(yīng)性脫穎而出，成為一項新興的拋光方法。在AJP研究的基礎(chǔ)上，許多學者對其進行了優(yōu)化改造，衍生了許多新型的磨料射流拋光技術(shù)，代表為磨料氣射流拋光、冰粒射流拋光、磁射流拋光、納米膠體射流拋光、負壓吸流拋光等，磨料射流拋光的發(fā)展如圖1所示。圖2則顯示了近10年來國內(nèi)外在磨料射流拋光領(lǐng)域出版的文獻統(tǒng)計，可見磨料射流拋光技術(shù)已逐漸被研圖1磨料射流表面拋光技術(shù)發(fā)展Fig．1Developmentofabrasivejetsurfacepolishing圖2近10年來磨料流體拋光文獻統(tǒng)計Fig．2Literaturestatisticsofabrasivefluidpolishinginthelastdecade究人員關(guān)注和認可，熱度出現(xiàn)持續(xù)上升。1典型磨料射流表面拋光1．1傳統(tǒng)磨料流體拋光通過磨料對材料表面的微切削作用實現(xiàn)材料微量去除的典型方法之一是磨料水射流拋光，一種典型的三軸控制的AJP拋光裝置如圖3所示［2］:磨料和水在磨料混合系統(tǒng)中均勻混合后，在壓力系統(tǒng)的作用下吸入到噴嘴，射向工件表面形成射流，通過磨料水射流低濃度、高速度的特點，完成材料去除。圖3磨料水射流表面拋光裝置Fig．3DeviceofabrasivewaterjetsurfacepolishingAJP將射流束當成拋光頭，可以對任意復雜形狀的工件進行拋光，且加工材料非常廣泛，加工過程中亞表面損傷很小，對邊緣效應(yīng)的控制也非常明顯。國外對AJP研究起步較早，Osamu［3］用AJP對平面光學玻璃修形，拋光后玻璃面形的PV值由151nm降低到29nm。Beaucamp和Namba［

光質(zhì)量與重復性［1］。因此，國內(nèi)外學者開始對新型拋光方法進行研究，這也成為超精密光學制造領(lǐng)域的一個重要課題。磨料水射流拋光(abrasivewaterjetpolishing，AJP)正是這一背景下的產(chǎn)物，AJP以其獨特的材料去除方式，穩(wěn)定而細小的去除函數(shù)以及對工件形狀較強的適應(yīng)性脫穎而出，成為一項新興的拋光方法。在AJP研究的基礎(chǔ)上，許多學者對其進行了優(yōu)化改造，衍生了許多新型的磨料射流拋光技術(shù)，代表為磨料氣射流拋光、冰粒射流拋光、磁射流拋光、納米膠體射流拋光、負壓吸流拋光等，磨料射流拋光的發(fā)展如圖1所示。圖2則顯示了近10年來國內(nèi)外在磨料射流拋光領(lǐng)域出版的文獻統(tǒng)計，可見磨料射流拋光技術(shù)已逐漸被研圖1磨料射流表面拋光技術(shù)發(fā)展Fig．1Developmentofabrasivejetsurfacepolishing圖2近10年來磨料流體拋光文獻統(tǒng)計Fig．2Literaturestatisticsofabrasivefluidpolishinginthelastdecade究人員關(guān)注和認可，熱度出現(xiàn)持續(xù)上升。1典型磨料射流表面拋光1．1傳統(tǒng)磨料流體拋光通過磨料對材料表面的微切削作用實現(xiàn)材料微量去除的典型方法之一是磨料水射流拋光，一種典型的三軸控制的AJP拋光裝置如圖3所示［2］:磨料和水在磨料混合系統(tǒng)中均勻混合后，在壓力系統(tǒng)的作用下吸入到噴嘴，射向工件表面形成射流，，通過磨料水射流低濃度、高速度的特點，完成材料去除。圖3磨料水射流表面拋光裝置Fig．3DeviceofabrasivewaterjetsurfacepolishingAJP將射流束當成拋光頭，可以對任意復雜形狀的工件進行拋光，且加工材料非常廣泛，加工過程中亞表面損傷很小，對邊緣效應(yīng)的控制也非常明顯。國外對AJP研究起步較早，Osamu［3］用AJP對平面光學玻璃修形，拋光后玻璃面形的PV值由151nm降低到29nm。Beaucamp和Namba［4］基于最

【參考文獻】

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本文編號：2575098