【摘要】：為提高激光切割金屬的表面質(zhì)量,用不同工藝參數(shù)的飛秒激光單次切割厚度為100μm的銅箔,并采用弱激光表面修復(fù)加工方法,取單次切割后最低粗糙度約為694 nm的表面進(jìn)行弱激光再掃描修復(fù)。研究結(jié)果表明:高能量飛秒激光切割金屬存在熱效應(yīng),掃描電鏡顯示表面有顆粒氧化物,實(shí)驗(yàn)得到再掃描修復(fù)加工的優(yōu)化工藝參數(shù)為:再掃描進(jìn)給深度為10μm,速度為100μm/s,單脈沖能量為50~100μJ。在最優(yōu)條件下,再掃描1次的表面粗糙度達(dá)220~250 nm,再掃描3次的表面粗糙度小于130 nm。該方法能有效提高飛秒激光切割金屬的表面質(zhì)量。

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1 徐斌;伍曉宇;凌世全;吳世云;羅烽;杜晨林;孫秀泉;;飛秒激光切割與微細(xì)電阻滑焊組合制備三維金屬微結(jié)構(gòu)[J];光學(xué)精密工程;2012年08期

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本文編號(hào)：2574679