鍍錫板鍍層的輝光放電光譜法解析
【圖文】:
XUYong-lin.Analysisoftinplatelayerbyglowdischargespectrometry.MetallurgicalAnalysis,2015,35(3):7-12顯的斜率變化,鍍錫層斜率較高,說明鍍錫層濺射速度要高于基板鐵層。樣品的深度分辨率可以理解為在深度方向可識別的最小單位,由該線的斜率乘以最小信號采集單位(單位為時間)可計算得到樣品的理論分辨率,再由一定倍數(shù)的理論分辨率可得到樣品的實際分辨率。實驗所用設(shè)備最小信號采集單位為0.0005s,以10倍理論深度分辨率作為實際深度分辨率,計算得到鍍錫板樣品在表面鍍錫層及基板鐵層的實際深度分辨率如表1所示。由表1可知:鍍錫層的深度分辨率要低于基板鐵層。圖1鍍錫樣品輝光分析深度-時間圖Fig.1Diagramofdepth-timeoftinplatebyGDS表1鍍錫板樣品的深度分辨率Table1DepthresolutionofthetinplatebyGDS項目Items鍍錫板樣品Tinplatesample錫層Tinlayer鐵層Ironlayer(深度/時間)/(μm/s)0.09550.0183最小信號采集單位/s0.00050.0005理論深度分辨率/nm0.0480.009實際深度分辨率/nm0.480.092.2鍍錫層厚度和質(zhì)量按照1.3實驗方法對某鍍錫板樣品進行GDS分析,得到分析試樣的GDS積分圖譜,如圖2所示。由圖2可以看到:鍍層首先被剝離,當錫層被剝離完全后錫含量開始下降,同時基板鐵含量開始上升。本文把錫、鐵含量交
able1DepthresolutionofthetinplatebyGDS項目Items鍍錫板樣品Tinplatesample錫層Tinlayer鐵層Ironlayer(深度/時間)/(μm/s)0.09550.0183最小信號采集單位/s0.00050.0005理論深度分辨率/nm0.0480.009實際深度分辨率/nm0.480.092.2鍍錫層厚度和質(zhì)量按照1.3實驗方法對某鍍錫板樣品進行GDS分析,得到分析試樣的GDS積分圖譜,如圖2所示。由圖2可以看到:鍍層首先被剝離,當錫層被剝離完全后錫含量開始下降,同時基板鐵含量開始上升。本文把錫、鐵含量交界點的位置定義為鍍錫層厚度[11],如圖2所示。圖2鍍錫層厚度Fig.2Thedepthoftincoating鍍錫層質(zhì)量的計算為積分輝光圖譜錫元素含量曲線以下的面積,積分起點為表面,積分終點位置為錫強度下降到峰值的50%時的位置再加上錫鐵交界層的厚度,GDS分析中,錫鐵交界層的厚度定義為錫從84%下降到16%的厚度。積分區(qū)域如圖3所示。圖3鍍錫層質(zhì)量計算積分區(qū)域Fig.3Integratingrangeforcalculatingtincoatingmass如上確定好鍍層厚度及質(zhì)量的計算方法后,,即可以定義公式計算得到樣品的鍍層厚度及質(zhì)量。選。矇K樣品分別進行精密度及準確度試驗,每塊樣品均進行10次測定,并與XRF測得的鍍層質(zhì)量值進行比對(委托方未提供鍍層質(zhì)量),結(jié)果如表2所示。由表2可以看到:GDS在測定鍍錫層質(zhì)量方面表現(xiàn)了較高的精密度及準
【作者單位】: 首鋼技術(shù)研究院檢測中心;
【分類號】:TG174.4;O657.3
【參考文獻】
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【二級參考文獻】
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本文編號:2525242
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