【摘要】：隨著熱噴涂技術(shù)的發(fā)展,通過(guò)制備陶瓷涂層來(lái)提高等離子刻蝕機(jī)腔室的耐腐蝕性能已成為可能。本文主要論述了氧化釔穩(wěn)定氧化鋯(YSZ)陶瓷涂層及其主要制備技術(shù)大氣等離子噴涂的工藝過(guò)程,介紹了粉末特性及不同噴涂工藝參數(shù)對(duì)涂層性能的影響作用,為實(shí)驗(yàn)研究奠定理論基礎(chǔ)。
[Abstract]:With the development of thermal spraying technology, it is possible to improve the corrosion resistance of plasma etch chamber by preparing ceramic coating. In this paper, the process of yttrium oxide stabilized zirconia (YSZ) ceramic coating and its main preparation technology, atmospheric plasma spraying, are discussed. The effects of powder characteristics and different spraying process parameters on the properties of the coating are introduced. It lays a theoretical foundation for experimental research.
【作者單位】： 北京科技大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;中科院微電子所;
【分類(lèi)號(hào)】：TG174.4

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2477365