本文關(guān)鍵詞：單晶藍(lán)寶石基片固結(jié)磨料機(jī)械化學(xué)拋光技術(shù)，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

大連理工大學(xué)學(xué)位論文獨(dú)創(chuàng)性聲明 作者鄭重聲明：所呈交的學(xué)位論文，是本人在導(dǎo)師的指導(dǎo)下進(jìn)行研究 工作所取得的成果。盡我所知，除文中已經(jīng)注明引用內(nèi)容和致謝的地方外， 本論文不包含其他個(gè)人或集體已經(jīng)發(fā)表的研究成果，也不包含其他已申請(qǐng) 學(xué)位或其他用途使用過的成果。與我一同工作的同志對(duì)本研究所做的貢獻(xiàn) 均已在論文中做了明確的說明并表示了謝意。 若有不實(shí)之處，本人愿意承擔(dān)相關(guān)法律責(zé)任。 學(xué)位論文題目：鏨疊：蓬重圣薹堡!魚絲盤越盤趔耋盥拉絲盆 作者簽名：竺盛三蘭五 日期：絲年―厶月量日 單晶藍(lán)寶石基片固結(jié)磨料機(jī)械化學(xué)拋光技術(shù) 摘 要 單晶藍(lán)寶石 0【．A1203 具有優(yōu)良的光電性能、穩(wěn)定的化學(xué)性能、高耐磨性、高熔 點(diǎn)和高硬度等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于光電子、通訊、國(guó)防等領(lǐng)域。這些應(yīng)用對(duì)藍(lán)寶石的加工 質(zhì)量提出了很高的要求，而單晶藍(lán)寶石作為典型的硬脆材料，實(shí)現(xiàn)高效低損傷超精密加 工成為阻礙其應(yīng)用的主要障礙。傳統(tǒng)硬質(zhì)磨料加工藍(lán)寶石時(shí)，藍(lán)寶石表面會(huì)產(chǎn)生崩碎、 劃痕等損傷，需進(jìn)一步采用化學(xué)機(jī)械拋光加工提高質(zhì)量。因此，新型高效低損傷的藍(lán)寶 石加工方法亟待研究和開發(fā)。 本文在研究了藍(lán)寶石固相化學(xué)反應(yīng)原理的基礎(chǔ)上，提出了采用固結(jié)磨料拋光盤機(jī)械 化學(xué)拋光 FA．MCP 藍(lán)寶石的新工藝，研究了固結(jié)磨料拋光盤的組織結(jié)構(gòu)和制作工藝。 恒壓力研磨機(jī)為平臺(tái)，通過檢測(cè)藍(lán)寶石表面粗糙度、加工損傷、三維形貌和材料去除率 研究了FA．MCP拋光盤的加工性能，進(jìn)行了FA．MCP拋光盤的配方優(yōu)化試驗(yàn)，，分析了 結(jié)合劑、磨料、磨料粒度及磨料濃度對(duì)FA．MCP拋光盤加工藍(lán)寶石表面粗糙度和材料去 除率的影響，并與相同粒度固

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