本文關(guān)鍵詞：大徑高比超精密液體靜壓轉(zhuǎn)臺的設(shè)計與分析，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

國內(nèi)圖書分類號: TH113.1 學(xué)校代碼：10213 國際圖書分類號: 621 密級：公開 工程碩士學(xué)位論文 大徑高比超精密液體靜壓轉(zhuǎn)臺的設(shè)計與分析 碩士研究生 : 吳九達 導(dǎo) 師 : 孫雅洲 副教授 申 請 學(xué) 位 : 工程碩士 學(xué) 科 : 機械工程 所 在 單 位 : 機電工程學(xué)院 答 辯 日 期 : 2013 年7 月 授予學(xué)位單位 : 哈爾濱工業(yè)大學(xué) Classified Index ：TH 113.1 U.D.C. ：621 Dissertation for the Master Degree in Engineering DESIGN AND ANALYSIS OF AN ULTRA-PRECISION ROTARY TABLE WITH A HIGH DIAMETER-LENGTH RATIO Candidate: Wu Jiuda Supervisor: Associate Prof. Sun Yazhou Academic Degree Applied for: Master of Engineering Speciality： Mechanical Engineering Affiliation: School of Mechatronics Engineering Date of Defence: July, 2013 Degree-Conferring-Institution: Harbin Institute of Technology 哈爾濱工業(yè)大學(xué)工程碩士學(xué)位論文 摘 要 超精密液體靜壓轉(zhuǎn)臺一直作為安裝工件或者其他機床移動軸的重要部件廣 泛地運用在多軸的超精密機床中，其運動精度對整個機床的加工精度影響很大。 影響液體靜壓轉(zhuǎn)臺性能的主要因素是轉(zhuǎn)臺中液體靜壓軸承工作狀態(tài)下的剛度等 性能指標(biāo)。同時，，超精密液體靜壓轉(zhuǎn)臺的結(jié)構(gòu)形式對于轉(zhuǎn)臺制造、裝配過程中的 可行性、難度及所達到的精度影響很大。因此，研究超精密液體靜壓轉(zhuǎn)臺的液體 靜壓軸承及轉(zhuǎn)臺結(jié)構(gòu)的設(shè)計和相關(guān)性能的分析對超精密機床整體獲得優(yōu)良的工 作性能具有重要的意義。 本文是針對“高檔數(shù)控機床與基礎(chǔ)制造裝備” 國家科技重大專項項目（項目編 號：2011ZX04004-061 ）中超精密液體靜壓轉(zhuǎn)臺的設(shè)計制造而開展的超精密液體 靜壓轉(zhuǎn)臺的設(shè)計與分析研究。課題涉及的超精密液體靜壓轉(zhuǎn)臺安裝在水平面內(nèi)的 直線運動部件上，要求的徑高比較大。為此，在轉(zhuǎn)臺的液

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