循環(huán)氬離子轟擊對磁控濺射鋁膜結(jié)構(gòu)和性能的影響
本文選題:釹鐵硼 + 氬離子轟擊。 參考:《中國表面工程》2015年01期
【摘要】:為了提高燒結(jié)釹鐵硼永磁材料的耐腐蝕性能,采用磁控濺射技術(shù)在釹鐵硼表面制備了厚度約為14.0μm的鋁膜,使用循環(huán)氬離子轟擊鋁膜的方法制備了3個周期的多層鋁膜。利用掃描電子顯微鏡(SEM)觀察鋁膜的表面和截面形貌,X射線衍射儀(XRD)表征膜層的晶體結(jié)構(gòu),采用中性鹽霧試驗測試膜層的耐鹽霧腐蝕性能,研究循環(huán)氬離子轟擊對鋁膜層形貌、結(jié)構(gòu)及耐中性鹽霧腐蝕性能的影響。結(jié)果表明:與相同厚度的單層鋁膜相比,3個周期的多層鋁膜晶粒均勻細(xì)小,膜層的柱狀晶結(jié)構(gòu)被打斷,內(nèi)部形成了兩個明顯的界面;膜層沿(111)晶面擇優(yōu)生長;與厚度相同的單層Al膜相比,3個周期的多層Al膜的耐蝕性顯著提高,其耐中性鹽霧腐蝕時間可達(dá)到312h。循環(huán)氬離子轟擊鋁膜的方法可以改善鋁鍍層的質(zhì)量和耐鹽霧腐蝕性能。
[Abstract]:In order to improve the corrosion resistance of sintered NdFeB permanent magnetic materials, aluminum films with thickness of about 14.0 渭 m were prepared on NdFeB surface by magnetron sputtering technique. Three cycles of multilayer aluminum films were prepared by cyclic argon ion bombardment. Scanning electron microscope (SEM) was used to observe the surface and cross section morphology of aluminum film. The crystal structure of the film was characterized by X-ray diffractometer. The corrosion resistance of the film was tested by neutral salt spray test, and the morphology of aluminum film by cyclic argon ion bombardment was studied. Effect of structure and corrosion resistance of neutral salt spray. The results show that compared with the monolayer aluminum films of the same thickness, the multilayer aluminum films with three cycles have fine grains, the columnar crystal structure of the films is broken, and two obvious interfaces are formed inside the films. Compared with the single layer Al film with the same thickness, the corrosion resistance of the multilayer Al film with three cycles was significantly improved, and the corrosion resistance time of neutral salt spray was 312h. Cyclic argon ion bombardment of aluminum film can improve the quality of aluminum coating and corrosion resistance to salt spray.
【作者單位】: 廣東省工業(yè)技術(shù)研究院(廣州有色金屬研究院)新材料研究所;廣東省現(xiàn)代表面工程技術(shù)重點實驗室;
【基金】:國家科技支撐計劃(2012BAE02B01)
【分類號】:TG174.4
【參考文獻(xiàn)】
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【共引文獻(xiàn)】
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【二級參考文獻(xiàn)】
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,本文編號:2018164
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