本文選題：微納制造 + 聚焦離子束��； 參考：《天津大學學報(自然科學與工程技術版)》2015年05期

【摘要】：精密長光柵作為高檔數(shù)控機床中的核心部件,其制造能力和精度直接影響著數(shù)控機床的制造水平.針對納米滾壓印技術制備長光柵中的核心部件即圓柱母光柵的制造開展了深入研究,探討了母光柵刻劃用金剛石刀具的聚焦離子束(FIB)制備技術,以及微刻劃過程中切削參數(shù)對圓柱母光柵加工質(zhì)量的影響規(guī)律.研究發(fā)現(xiàn),聚焦離子束加工單晶金剛石材料時會存在溝道效應,影響所制備的金剛石刀具及其加工母光柵的形狀精度.從改善離子束束流分布的均勻性、FIB加工參數(shù)優(yōu)化等角度建立了有效克服FIB加工溝道效應的方法.通過DEFORM有限元模擬實驗和超精密母光柵刻劃實驗,優(yōu)化金剛石刀具刀尖角和微刻劃加工速度,研究了抑制母光柵加工中微尺度毛刺的有效方法,最終獲得了高精度母光柵刻劃結(jié)果.
[Abstract]:As the core component of high grade CNC machine tools, the precision long grating is the key part of the CNC machine tool. Its manufacturing capability and accuracy have a direct influence on the manufacturing level of CNC machine tools. The manufacturing of the core component of the long grating, namely the cylindrical grating, is deeply studied. The focus ion beam (FIB) of the diamond cutting tool is discussed. The effect of the cutting parameters on the processing quality of the cylindrical gratings in the process of micro characterization. It is found that the channel effect exists in the processing of single crystal diamond with focused ion beam, which affects the shape precision of the prepared diamond tools and their processing mother gratings. The FIB processing is made from improving the uniformity of the ion beam beam distribution. The method of effectively overcoming the FIB channel effect is established by the parameter optimization. Through the DEFORM finite element simulation experiment and the ultra precision mother grating calibration experiment, the cutting edge angle and the micro machining speed of the diamond cutter are optimized, and the effective method to suppress the microscale burr in the processing of the mother grating is studied, and the high-precision grating characterization is finally obtained. Result.
【作者單位】： 天津大學精密測試技術及儀器國家重點實驗室;天津市微納制造技術工程中心;
【基金】：國家重點基礎研究發(fā)展計劃(973計劃)資助項目(2011CB706700) 國家自然科學基金資助項目(51275559,50935001) 中物院超精密加工技術重點實驗室開放基金資助項目(KF13008)
【分類號】：TG71;TG659

【參考文獻】

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【共引文獻】

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本文編號：1980203