本文選題：磁控濺射 + TiAlN�。� 參考：《熱加工工藝》2015年24期

【摘要】：采用磁控濺射在65Mn鋼基體表面分R%制備了不同Al含量(≤40at%)的TiAlN和CrAlN復(fù)合膜,研究了Al含量對TiAlN和CrAlN復(fù)合膜性能的影響,并對濺射前后摩擦磨損性能進行了對比。采用X射線衍射、掃描電鏡、能譜儀(EDS)、納米硬度儀和高溫摩擦磨損試驗機,系統(tǒng)分析了Al含量對TiAlN和CrAlN復(fù)合膜微結(jié)構(gòu)、力學性能和高溫摩擦磨損性能的影響。結(jié)果表明,復(fù)合膜均為面心立方結(jié)構(gòu),且呈(111)擇優(yōu)取向生長。隨Al含量增加,晶格常數(shù)逐漸減小,而硬度逐漸增大。室溫下材料的摩擦因數(shù)為0.6~0.7,300℃條件下摩擦因數(shù)為0.6~0.8,600℃條件下摩擦因數(shù)為0.4~0.9;表面濺射Ti_(0.6)Al_(0.4)N和Cr_(0.62)Al_(0.38)N后,其室溫耐磨性分R%是65Mn鋼的1.7倍和2.0倍,300℃下耐磨性分R%為65Mn鋼的2.7倍和3.0倍,600℃下耐磨性分R%為65Mn鋼的3.5倍和4.0倍。
[Abstract]:TiAlN and CrAlN composite films with different Al content (鈮，

本文編號：1969557