本文選題：掃描電子顯微鏡 + 納米切削　； 參考：《天津大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)與工程技術(shù)版)》2015年01期

【摘要】：針對(duì)目前納米切削機(jī)理研究方法中切削過(guò)程無(wú)法在線高分辨力觀測(cè)等瓶頸問(wèn)題,設(shè)計(jì)并搭建了一套集成于掃描電子顯微鏡高真空條件下的納米切削實(shí)驗(yàn)裝置,開(kāi)展了該實(shí)驗(yàn)裝置的運(yùn)動(dòng)精度分析、典型單晶材料納米切削在線觀測(cè)等研究.該裝置在切削及切深方向均能實(shí)現(xiàn)7,μm的位移輸出,閉環(huán)分辨力為0.6,nm.通過(guò)白光干涉儀對(duì)納米切削臺(tái)階加工結(jié)果的測(cè)量,分析裝置運(yùn)動(dòng)精度,實(shí)現(xiàn)了切深分別為59.3,nm、115.1,nm和161.2,nm的臺(tái)階結(jié)構(gòu)加工.利用直線刃金剛石刀具對(duì)單晶銅和單晶硅材料進(jìn)行了納米切削實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明所研制的納米切削裝置能夠?qū)崿F(xiàn)納米尺度材料去除的在線高分辨力觀測(cè).
[Abstract]:This paper designs and sets up a set of nano - cutting experimental devices integrated in the high vacuum condition of scanning electron microscope for the current nano - cutting mechanism research method , and designs and sets up a set of nano - cutting experimental device integrated in the high vacuum condition of scanning electron microscope . The measurement of the machining result of nano - cutting step is carried out in the direction of cutting and depth . The results show that the cutting depth is 59.3 , nm , 115.1 , nm and 161.2 , nm . The experimental results show that the nano - cutting device can realize the on - line high - resolution observation of nano - scale material removal .
【作者單位】： 天津大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;天津大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)與儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃(973計(jì)劃)資助項(xiàng)目(2011CB706703,2011CB706700) 國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51275559)
【分類號(hào)】：TG50

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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5 班鐳，

本文編號(hào)：1958987