本文選題：掃描電子顯微鏡 + 納米切削��； 參考：《天津大學學報(自然科學與工程技術(shù)版)》2015年01期

【摘要】：針對目前納米切削機理研究方法中切削過程無法在線高分辨力觀測等瓶頸問題,設(shè)計并搭建了一套集成于掃描電子顯微鏡高真空條件下的納米切削實驗裝置,開展了該實驗裝置的運動精度分析、典型單晶材料納米切削在線觀測等研究.該裝置在切削及切深方向均能實現(xiàn)7,μm的位移輸出,閉環(huán)分辨力為0.6,nm.通過白光干涉儀對納米切削臺階加工結(jié)果的測量,分析裝置運動精度,實現(xiàn)了切深分別為59.3,nm、115.1,nm和161.2,nm的臺階結(jié)構(gòu)加工.利用直線刃金剛石刀具對單晶銅和單晶硅材料進行了納米切削實驗,實驗結(jié)果表明所研制的納米切削裝置能夠?qū)崿F(xiàn)納米尺度材料去除的在線高分辨力觀測.
[Abstract]:This paper designs and sets up a set of nano - cutting experimental devices integrated in the high vacuum condition of scanning electron microscope for the current nano - cutting mechanism research method , and designs and sets up a set of nano - cutting experimental device integrated in the high vacuum condition of scanning electron microscope . The measurement of the machining result of nano - cutting step is carried out in the direction of cutting and depth . The results show that the cutting depth is 59.3 , nm , 115.1 , nm and 161.2 , nm . The experimental results show that the nano - cutting device can realize the on - line high - resolution observation of nano - scale material removal .
【作者單位】： 天津大學機械工程學院;天津大學精密測試技術(shù)與儀器國家重點實驗室;
【基金】：國家重點基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃(973計劃)資助項目(2011CB706703,2011CB706700) 國家自然科學基金資助項目(51275559)
【分類號】：TG50

【參考文獻】

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【共引文獻】

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【相似文獻】

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5 班鐳，

本文編號：1958987