本文關(guān)鍵詞：納米壓印光刻技術(shù)原理與實驗研究，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

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文獻(xiàn)名稱：納米壓印光刻技術(shù)原理與實驗研究

    前言：本文介紹了納米壓印光刻技術(shù)的原理并進(jìn)行了相關(guān)的實驗研究,目的在于研究采用納米壓印光刻技術(shù)制備三維微結(jié)構(gòu)的工藝,以促進(jìn)此項技術(shù)更快的走向廣泛的實際應(yīng)用。本文首先介紹了納米壓印光刻技術(shù)的原理,以及納米壓印光刻技術(shù)的趨勢和面臨的挑戰(zhàn),并針對這些挑戰(zhàn)提出了可能的解決方案。為了滿足納米壓印光刻技術(shù)研究的需要,本文研制了納米壓印光刻機。該光刻機可以同時滿足熱軟化納米壓印光刻和光固化納米壓印光刻的需要,并能夠適應(yīng)從納米級到毫米級各種尺寸范圍微結(jié)構(gòu)加工的需要。在該納米光刻機的設(shè)計中,一種新型的楔形補償模塊被研制,該模塊避免了國外設(shè)計中存在的問題,提高了圖形加工的均勻性,而且還具有過載保護(hù)的輔助功能。針對光刻膠力學(xué)性能測試的要求,本文研制了一臺聚合物單軸試驗機,該試驗機能夠同時對溫度和壓力加載,以測試聚合物光刻膠在不同溫度下的力學(xué)性能。試驗機的研制還包含了一種高精度六維力傳感器的研制,該傳感器通過新穎的基體結(jié)構(gòu)設(shè)計和巧妙的布片方案實現(xiàn)了結(jié)構(gòu)解耦,大大簡化了信號處理電路的設(shè)計并降低了成本。本文還進(jìn)行了與溫度相關(guān)的光刻膠力學(xué)特性研究。這些研究對納米壓印光刻工藝中溫度、壓力等參數(shù)的控制具有指導(dǎo)性的意義。此外,...
    The thesis presents the principle and experimental study of nanoimprint lithography. The primary objective is to investigate the application of nanoimprint lithography in three-dimensional micro-structure fabrication and to study the process control of nanoimprint lithography.In this thesis, a nanoimprint system is designed and set up. This nanoimprint system is designed to be suitable for both thermal nanoimprint lithography and UV-curing nanoimprint. Furthermore, it performances very well in 3-D micro-...

文獻(xiàn)名稱 納米壓印光刻技術(shù)原理與實驗研究

Article Name
英文(英語)翻譯 Research on Principle and Process Control of Nanoimprint Lithography;

作者 賀德建; 導(dǎo)師:張鴻海; 劉勝;

Author

作者單位
Author Agencies 華中科技大學(xué);

文獻(xiàn)出處
Article From 中國科學(xué)院上海冶金研究所; 材料物理與化學(xué)(專業(yè)) 博士論文 2000年度

關(guān)鍵詞 納米壓印光刻; 光刻技術(shù); 三維微加工; 納米加工;

Keywords Nanoimprint Lithography;Hot Embossing;Lithography;Nano-fabrication;

高保真度五步加載納米壓印光刻的研究
準(zhǔn)分子激光微刻蝕加工的實驗研究
華中數(shù)控系統(tǒng)遠(yuǎn)程監(jiān)控與維護(hù)技術(shù)研究
軋機液壓AGC系統(tǒng)及FMV閥的特性分析與試驗研究
基于振動監(jiān)測和BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的連鑄下渣自動檢測方法的研究
城市生活垃圾的壓縮和滲透特性及填埋場水力特性研究
電場、滲流場和濃度場耦合作用下污染物在粘土中的遷移機理研究
混合土（粉質(zhì)黏土與疏浚土）作為填埋場襯墊系統(tǒng)材料的試驗研究
多功能環(huán)境參數(shù)精密監(jiān)測系統(tǒng)的研制
基于原子力顯微鏡的納米加工技術(shù)及軟件系統(tǒng)研究

  本文關(guān)鍵詞：納米壓印光刻技術(shù)原理與實驗研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。