本文關(guān)鍵詞：環(huán)境微振動(dòng)下超精密加工設(shè)備的響應(yīng)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

M．A．Dissertation of Machineunder ResponseUltra--precision 1■f● ● J I7●l 』● 』VIlCr0-enVlronment VlDratlon HeYanran Jin SupervisedbyP1^O 。Fan of University Nanjing 3 January,201 聲 明 本學(xué)位論文是我在導(dǎo)師的指導(dǎo)下取得的研究成果，盡我所知，，在 本學(xué)位論文中，除了加以標(biāo)注和致謝的部分外，不包含其他人已經(jīng)發(fā) 表或公布過(guò)的研究成果，也不包含我為獲得任何教育機(jī)構(gòu)的學(xué)位或?qū)W 歷而使用過(guò)的材料。與我一同工作的同事對(duì)本學(xué)位論文做出的貢獻(xiàn)均 已在論文中作了明確的說(shuō)明。 研究生簽名： 弘哆年弓月洳日 學(xué)位論文使用授權(quán)聲明 南京理工大學(xué)有權(quán)保存本學(xué)位論文的電子和紙質(zhì)文檔，可以借閱 或上網(wǎng)公布本學(xué)位論文的部分或全部?jī)?nèi)容，可以向有關(guān)部門或機(jī)構(gòu)送 交并授權(quán)其保存、借閱或上網(wǎng)公布本學(xué)位論文的部分或全部?jī)?nèi)容。對(duì) 于保密論文，按保密的有關(guān)規(guī)定和程序處理。 研究生簽名：絲塑圭 助f弓年弓月如日 碩士論文 環(huán)境微振動(dòng)下超精密加工設(shè)備的響應(yīng)研究 摘 要 精密和超精密加工技術(shù)是現(xiàn)代高科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)，也是綜合國(guó)力的重要標(biāo)志。 加工精度的保證和提高是該領(lǐng)域研究和發(fā)展的目標(biāo)所在，而對(duì)加工精度產(chǎn)生影響的主要 因素是加工過(guò)程中的微振動(dòng)。為研究超精密加工設(shè)備對(duì)環(huán)境微振動(dòng)的響應(yīng)及其對(duì)加工精 度造成的影響，本文以某超精密加工機(jī)床為研究背景，主要從以下方面進(jìn)行了研究： 1 分析影響超精密加工機(jī)床精度的環(huán)境微振動(dòng)，對(duì)不同微振動(dòng)的特點(diǎn)進(jìn)行討論， 提出解決微振動(dòng)問(wèn)題的理論方法和措施； 2 通過(guò)試驗(yàn)?zāi)B(tài)分析掌握了超精密加工機(jī)床的固有特性，并進(jìn)行了設(shè)備工作下的 動(dòng)態(tài)響應(yīng)測(cè)試，得出其振動(dòng)控制指標(biāo)的位移限值； 3 通過(guò)理論建模，對(duì)加工設(shè)備進(jìn)行

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