本文選題：微細超聲工作臺 + 微細超聲加工��； 參考：《振動與沖擊》2015年07期

【摘要】：微細超聲工作臺是微細超聲加工機床與微細超聲振動輔助加工機床的關(guān)鍵零部件,其振幅值直接影響加工精度與加工效率。傳統(tǒng)的振幅測量方法很難準確的測出微細超聲工作臺的微振幅�；诰芪⑷S運動平臺的高分辨率,提出了一種恒力控制的微振幅測量方法,成功的測量出能精確到0.1μm的微振幅。首先對微細超聲工作臺中的微細超聲振動系統(tǒng)進行了理論設(shè)計,然后采用基于恒力控制的超聲振幅測量方法,對不同功率作用下的微細超聲振動系統(tǒng)的振幅值進行了測量。
[Abstract]:The micro ultrasonic worktable is the key component of the micro ultrasonic machining machine and the micro ultrasonic vibration auxiliary machine tool. Its amplitude value directly affects the processing precision and efficiency. The traditional amplitude measurement method is difficult to accurately measure the micro amplitude of the micro ultrasonic worktable. Based on the high resolution of the precision micro 3D motion platform, this paper puts forward the high resolution of the precision micro 3D motion platform. A micro amplitude measurement method controlled by constant force is used to measure the micro amplitude that can be accurate to 0.1 M. Firstly, the micro ultrasonic vibration system in the micro ultrasonic workbench is designed. Then the ultrasonic amplitude measurement method based on constant force control is used to measure the amplitude of the micro ultrasonic vibration system under the action of different power. The measurement was done.

【作者單位】： 廣東工業(yè)大學(xué)機電工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金重點資助項目(U1134003);國家自然科學(xué)基金(51175091)
【分類號】：TG502

【參考文獻】

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【共引文獻】

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本文編號：1788370