本文選題：微細電解加工 + 脈沖電源�。� 參考：《清華大學學報(自然科學版)》2015年03期

【摘要】：脈沖電源是實現(xiàn)微細電解加工的技術關鍵之一。該文基于鈍化膜增厚過程分析,探討抑氣促溶機理,并設計一種具有脈間輸出的三電極微細電解加工脈沖電源,利用輔助電極導入電解池的加工脈間完全去極化電流,完成界面加酸過程。微細陣列孔及微細槽的電解加工實驗顯示:采用三電極脈沖電源在中性NaNO3電解液中的微細電解加工,蝕除速率從兩電極脈沖電源的3.21×10-4 mm3/s提高至6.62×10-4 mm3/s,有效地提高了加工效率;該電源在維持鈍性電解液中加工定域性好和中性電解液的環(huán)保優(yōu)勢的同時,又具有偏酸性電解液中加工后表面質量高的優(yōu)點,加工表面粗糙度Ra從0.52μm降至0.28μm。初步實驗驗證了具有脈間輸出的三電極微細電解加工脈沖電源的可行性。
[Abstract]:Pulse power supply is one of the key technologies for micro-ECM.Based on the analysis of thickening process of passivation film, the mechanism of gas inhibition and solubilization is discussed, and a three-electrode micro-electrolysis pulse power supply with interpulse output is designed.Finish the process of adding acid at the interface.The experiments of ECM for micro-array holes and microgrooves show that the etching rate of three-electrode pulse power supply in neutral NaNO3 electrolyte is increased from 3.21 脳 10 ~ (-4) mm3/s to 6.62 脳 10 ~ (-4) mm ~ (3) / s, which improves the machining efficiency effectively.At the same time, the power supply has the advantage of high surface quality after processing in the partial acidic electrolyte, and the roughness Ra of the machined surface is reduced from 0.52 渭 m to 0.28 渭 m.The feasibility of three-electrode micro ECM pulse power supply with interpulse output is verified by the preliminary experiment.
【作者單位】： 清華大學機械工程系精密超精密制造裝備及控制北京市重點實驗室;北京信息科技大學儀器科學與光電工程學院;
【基金】：國家自然科學基金面上項目(51275255) 江蘇省數(shù)字化電化學加工重點建設實驗室(常州工學院)開放基金資助項目(KFJJ2004005)
【分類號】：TG662

【參考文獻】

相關期刊論文 前5條

1 劉小康;李風;;超短脈沖微細電解加工電源及工藝試驗[J];華南理工大學學報(自然科學版);2008年08期

2 王明環(huán);朱荻;徐惠宇;;微螺旋電極在改善微細電解加工性能中的應用[J];機械科學與技術;2006年03期

3 李小海;王振龍;趙萬生;;高頻窄脈沖電流微細電解加工[J];機械工程學報;2006年01期

4 朱荻,王明環(huán),明平美,張朝陽;微細電化學加工技術[J];納米技術與精密工程;2005年02期

5 曾偉梁;王振龍;;快速消除維持電壓微細電化學加工脈沖電源[J];上海交通大學學報;2008年09期

相關博士學位論文 前1條

1 馬曉宇;陣列孔微細電解加工基礎技術研究[D];清華大學;2010年

【共引文獻】

相關期刊論文 前10條

1 盛桂珍;趙妍;;超高速窄脈沖納秒信號采集的實現(xiàn)與應用研究[J];長春工程學院學報(自然科學版);2012年02期

2 劉壯;邱中軍;衡沖;;基于陰極周期往復運動的微細電解加工系統(tǒng)[J];傳感器與微系統(tǒng);2009年03期

3 王磊;朱荻;曲寧松;王明環(huán);;金屬微孔網(wǎng)板微細電解加工技術研究[J];電加工與模具;2007年02期

4 王偉波;徐家文;趙建社;;微小整體構件加工技術的現(xiàn)狀和發(fā)展[J];電加工與模具;2007年04期

5 薛寶;曲寧松;李寒松;陳建寧;;摩擦副表面微坑結構的微細電解加工技術研究[J];電加工與模具;2008年01期

6 馬曉宇;李勇;呂善進;胡滿紅;;加工間隙內(nèi)電解產(chǎn)物對微細電解加工的影響分析[J];電加工與模具;2008年06期

7 馬曉宇;李勇;胡滿紅;劉改紅;;綜合改善微細電解加工精度的工藝研究[J];電加工與模具;2009年05期

8 謝巖甫;劉壯;陳偉;;微細電解加工技術的概況與展望[J];電加工與模具;2010年06期

9 陳遠龍;楊濤;萬勝美;王天霽;;電化學加工技術的概況與展望[J];電加工與模具;2010年S1期

10 胡洋洋;朱荻;李寒松;曾永彬;明平美;;UV-LIGA與微細電火花加工組合制造微細電解陣列電極[J];東南大學學報(自然科學版);2010年01期

相關會議論文 前10條

1 陳偉;劉壯;謝巖甫;;錐形電極對微小孔電解加工定域性的影響[A];2010年“航空航天先進制造技術”學術交流論文集[C];2010年

2 李乃武;劉壯;張文豹;陳華清;;螺旋電極對微小孔電解加工深度的影響[A];第14屆全國特種加工學術會議論文集[C];2011年

3 孔全存;李勇;王琨;劉立強;;精密內(nèi)孔相貫線處毛刺的可控電解去除工藝[A];第14屆全國特種加工學術會議論文集[C];2011年

4 陳遠龍;張超;王天霽;;電化學加工技術的概況與展望[A];第13屆全國特種加工學術會議論文集[C];2009年

5 馬曉宇;李勇;嚴云崧;胡滿紅;;回退對微細電解加工的影響分析及實驗研究[A];第13屆全國特種加工學術會議論文集[C];2009年

6 王少華;朱荻;曲寧松;曾永彬;朱兵;;微尺度線電極電解線切割技術研究[A];第13屆全國特種加工學術會議論文集[C];2009年

7 汪建春;云乃彰;朱永偉;李紅英;;對超聲頻振動復合同步電解加工原理的探討[A];第13屆全國特種加工學術會議論文集[C];2009年

8 何志偉;王明環(huán);彭偉;章巧芳;姚春燕;;定向腐蝕法加工變直徑工具電極方法研究[A];第15屆全國特種加工學術會議論文集（下）[C];2013年

9 黃紅光;郭鐘寧;孫濤濤;宋卿;;模具鋼大面積微結構的微細電解和化學蝕刻的比較研究[A];第15屆全國特種加工學術會議論文集（下）[C];2013年

10 何長運;黃志剛;郭鐘寧;黃詩彬;胡亮;;微小凹坑電解加工過程的仿真研究[A];第15屆全國特種加工學術會議論文集（下）[C];2013年

相關博士學位論文 前10條

1 曾永彬;屏蔽模板隨動式微細電鑄技術的基礎研究[D];南京航空航天大學;2008年

2 張華;噴射液束電解—激光復合加工的基礎研究[D];南京航空航天大學;2009年

3 羅紅平;納秒脈寬脈沖電化學微加工機床關鍵技術研究[D];湖南大學;2009年

4 馬曉宇;陣列孔微細電解加工基礎技術研究[D];清華大學;2010年

5 胡洋洋;UV-LIGA與微細電加工組合制造金屬陣列網(wǎng)板技術研究[D];南京航空航天大學;2010年

6 劉勇;微細電解銑削加工技術的基礎研究[D];南京航空航天大學;2010年

7 鮑懷謙;超純水微細電解加工的基礎研究[D];南京航空航天大學;2006年

8 王明環(huán);微細電解加工實驗研究[D];南京航空航天大學;2007年

9 張朝陽;納秒脈沖電流微細電解加工技術研究[D];南京航空航天大學;2006年

10 金柏冬;氣中微細電火花沉積關鍵技術研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2007年

相關碩士學位論文 前10條

1 陳里龍;金屬電化學快速線切割技術研究[D];浙江理工大學;2010年

2 周雅各;利用毛細管微探針的微結構制備新方法研究[D];浙江大學;2011年

3 林世才;高速列車氣固界面的摩擦噪聲研究[D];浙江大學;2011年

4 孫磊厚;空間曲線嚙合輪傳動機構的制造工藝研究[D];華南理工大學;2011年

5 袁明超;表面織構對活塞環(huán)/缸套摩擦副摩擦學性能的影響[D];南京航空航天大學;2009年

6 朱兵;厚不銹鋼板的微細電解線切割加工技術研究[D];南京航空航天大學;2010年

7 李f暉;電解射流—激光復合加工技術基礎研究[D];南京航空航天大學;2010年

8 衡沖;利用陰極跳躍排液提高微細電解加工精度的試驗研究[D];南京航空航天大學;2010年

9 江一;激波輔助純鈦微細光刻電解試驗研究[D];南京航空航天大學;2009年

10 丁維育;純鈦微細電解加工基礎試驗研究[D];南京航空航天大學;2010年

【二級參考文獻】

相關期刊論文 前10條

1 范植堅,鐘玲,李福援,陳林;基于電化學過程的電解加工間隙電場的研究[J];兵工學報;2003年04期

2 李淑英,王華,馬力,張振邦;微孔陽極氧化鋁膜的制備及膜的耐蝕性研究[J];表面技術;2000年04期

3 司磊,王玉霞,劉國軍;光學薄膜制備技術[J];長春理工大學學報;2004年02期

4 史先傳,朱荻,徐惠宇;電解加工中最小間隙檢測方法[J];傳感器技術;2005年05期

5 荒田伸治;董清泉;;電解去毛刺[J];柴油機;1988年03期

6 吳雙成;;對化學轉化膜的新看法[J];電鍍與環(huán)保;2007年02期

7 過騏千;電子束、離子束加工技術簡介[J];電工技術雜志;1994年05期

8 高慧瑩;;音圈電機在探頭機構中的應用[J];電子工業(yè)專用設備;2008年12期

9 劉今起;;試論超鈍化溶解及其電解液[J];電加工;1980年03期

10 朱樹敏;;低濃度硝酸鈉電解液的特性和應用[J];電加工;1983年04期

相關會議論文 前1條

1 朱荻;張朝陽;明平美;曾永彬;王明環(huán);;微細電化學加工技術的研究與發(fā)展[A];2005年中國機械工程學會年會論文集[C];2005年

相關博士學位論文 前1條

1 徐惠宇;微細電解加工系統(tǒng)及其相關工藝的研究[D];南京航空航天大學;2005年

【相似文獻】

相關期刊論文 前10條

1 朱漢華,劉正林,丁彰雄,嚴新平;擺線形電解加工工具的設計[J];船海工程;2003年03期

2 章成軍;電解加工原理及應用[J];現(xiàn)代車用動力;2003年02期

3 李志永;季畫;;電解加工在微細制造技術中的應用研究[J];機械設計與制造;2006年06期

4 陳林;王天誠;范植堅;;型面電解加工復合磁場試驗研究[J];西安工業(yè)大學學報;2006年04期

5 徐正揚;朱荻;王蕾;史先傳;;三頭進給電解加工葉片流場特性[J];機械工程學報;2008年04期

6 范植堅;王崗罡;唐霖;王天誠;;磁場輔助電解加工裝置的磁場設計和試驗[J];機械工程學報;2010年01期

7 王賀賓;郭鐘寧;羅紅平;;微細電解加工技術研究現(xiàn)狀與展望[J];組合機床與自動化加工技術;2011年04期

8 姜意;張曉恒;黃紹服;朱玉川;;可調整角度的電解加工系統(tǒng)的開發(fā)[J];機床與液壓;2011年06期

9 ;國外電解加工概況[J];電加工;1975年06期

10 ;電解加工基本知識講座(四) 電解加工設備及其裝備[J];電加工;1976年01期

相關會議論文 前10條

1 范植堅;王崗罡;唐霖;王天誠;;磁場輔助電解加工裝置的磁場設計和試驗[A];陜西省機械工程學會特種加工分會第九屆學術年會論文集[C];2010年

2 羅雪輝;;某型號螺旋漿軸階梯孔電解加工探索[A];2010年“航空航天先進制造技術”學術交流論文集[C];2010年

3 陳延禧;;電解加工——一種特殊的電化學過程[A];第三屆全國電加工學術會議論文選[C];1979年

4 朱樹敏;;電解加工十年[A];第六屆全國電加工學術年會論文集[C];1989年

5 朱樹敏;;電解加工發(fā)展展望[A];第七屆全國電加工學術年會論文集[C];1993年

6 陳遠龍;朱樹敏;;電解加工工藝參數(shù)模擬試驗設計及數(shù)據(jù)庫的創(chuàng)建[A];2001年中國機械工程學會年會暨第九屆全國特種加工學術年會論文集[C];2001年

7 陳遠龍;任中根;徐家文;陳濟輪;;電解加工技術的現(xiàn)狀與展望[A];2005年中國機械工程學會年會論文集第11屆全國特種加工學術會議專輯[C];2005年

8 劉國強;傅秀清;康敏;劉傳;王嘉寧;王常志;;球形陰極電解加工的電場特性研究[A];第15屆全國特種加工學術會議論文集（下）[C];2013年

9 劉金國;曲寧松;李寒松;孫毅;;多孔徑微小群孔電解加工工藝研究[A];2010年“航空航天先進制造技術”學術交流論文集[C];2010年

10 陳偉;劉壯;謝巖甫;;錐形電極對微小孔電解加工定域性的影響[A];2010年“航空航天先進制造技術”學術交流論文集[C];2010年

相關重要報紙文章 前4條

1 中航工業(yè)制造所 程小元;精密振動電解[N];中國航空報;2014年

2 本報記者 胡啟林;埃馬克：以電解加工技術應對難加工材料[N];中國工業(yè)報;2013年

3 中航工業(yè)制造所 張明岐;在不斷超越的道路上前行[N];中國航空報;2013年

4 本報通訊員 徐川 焦宏圖 本報記者 談潔;給火箭發(fā)動機穿上“無針孔”外衣[N];南京日報;2011年

相關博士學位論文 前10條

1 徐正揚;發(fā)動機葉片精密電解加工關鍵技術研究[D];南京航空航天大學;2008年

2 陳遠龍;電解加工工藝參數(shù)數(shù)據(jù)庫及電解加工基本工藝規(guī)律研究[D];合肥工業(yè)大學;2000年

3 王明環(huán);微細電解加工實驗研究[D];南京航空航天大學;2007年

4 馬曉宇;陣列孔微細電解加工基礎技術研究[D];清華大學;2010年

5 王希;電解加工間隙智能監(jiān)控方法研究[D];南京航空航天大學;2006年

6 鮑懷謙;超純水微細電解加工的基礎研究[D];南京航空航天大學;2006年

7 王蕾;發(fā)動機葉片高精度電解加工陰極設計系統(tǒng)及實驗研究[D];南京航空航天大學;2006年

8 吳銳;整體構件高效、快捷數(shù)控電解加工的應用研究[D];南京航空航天大學;2009年

9 王維;群小孔電解加工的關鍵技術研究[D];南京航空航天大學;2010年

10 李冬林;模板電解加工群孔基礎研究及應用[D];南京航空航天大學;2010年

相關碩士學位論文 前10條

1 朱成康;微細螺旋孔電解加工成型仿真技術研究[D];浙江工業(yè)大學;2010年

2 戴一通;航空難加工材料精細電解加工機理及應用研究[D];沈陽航空航天大學;2012年

3 王賀賓;微細電解加工裝備研制及其實驗研究[D];廣東工業(yè)大學;2012年

4 韋磊;管電極電解加工微小孔技術研究[D];大連理工大學;2013年

5 丁成偉;高頻窄脈沖微細電解加工機理的研究[D];山東大學;2008年

6 孫立忠;脈沖電流電解加工微細結構的試驗研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2007年

7 劉燕;微小孔電解加工若干關鍵技術的研究[D];南京航空航天大學;2008年

8 魏軍;閉式葉輪整體電解加工工藝基礎研究[D];大連理工大學;2007年

9 謝文清;管電極電解加工監(jiān)控系統(tǒng)的設計及試驗研究[D];南京航空航天大學;2009年

10 宋曼;活動模板電解加工微小凹坑陣列研究[D];南京航空航天大學;2010年

，

本文編號：1759383