本文選題：光學(xué)制造　切入點(diǎn)：環(huán)形拋光　出處：《中國(guó)激光》2015年07期

【摘要】：針對(duì)傳統(tǒng)方法拋光高功率激光實(shí)驗(yàn)中使用的長(zhǎng)焦距列陣透鏡單元遇到的檢測(cè)困難、一致性差等問(wèn)題,提出了采用環(huán)形拋光的新方法。對(duì)環(huán)形拋光系統(tǒng)的理論分析表明,拋光盤面形可以穩(wěn)定在球面狀態(tài)。利用這種特性,環(huán)形拋光法可以拋光小曲率球面。闡述了拋光盤面形的調(diào)節(jié)方法。利用0.69 m環(huán)形拋光機(jī)對(duì)口徑45 mm、曲率半徑57207 mm的列陣透鏡單元進(jìn)行了拋光,結(jié)果表明面形精度和一致性均優(yōu)于平面擺動(dòng)式拋光法。最后對(duì)環(huán)形拋光機(jī)可拋光的球面曲率半徑范圍進(jìn)行了探討,發(fā)現(xiàn)盤面尺寸越小球面拋光能力越強(qiáng),直徑0.8 m的盤面可拋光的曲率半徑可低至10 m。
[Abstract]:In order to solve the problems such as difficult detection and poor consistency of lens unit with long focal length array used in high power laser experiment, a new method of ring polishing is put forward. The theoretical analysis of ring polishing system shows that, The polishing surface can be stabilized in a spherical state. The ring polishing method can be used to polish the spherical surface with small curvature. The adjusting method of polishing disk surface is described. The array lens unit with a diameter of 45 mm and a radius of curvature of 57207 mm is polished by a 0.69m ring polishing machine. The results show that the precision and consistency of surface shape are better than that of planar swing polishing method. Finally, the range of spherical curvature radius that can be polished by ring polishing machine is discussed. It is found that the smaller the surface size is, the stronger the polishing ability of spherical surface is. The radius of curvature of the polishing surface of 0.8 m in diameter can be as low as 10 m.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所高功率激光物理聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【基金】：中以高功率激光技術(shù)國(guó)際合作研究(2010DFB70490)
【分類號(hào)】：TG580.692

【共引文獻(xiàn)】

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