本文選題：磁控濺射電源　切入點(diǎn)：滑模變結(jié)構(gòu)控制　出處：《西安理工大學(xué)學(xué)報(bào)》2015年04期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：基于脈沖磁控濺射電源等離子體負(fù)載的特殊性及鍍膜過程對輸出電壓電流的控制需求,提出了一種PI控制電壓環(huán)與滑模變結(jié)構(gòu)控制電流環(huán)相結(jié)合的復(fù)合控制策略。文中建立了移相全橋變換器的平均狀態(tài)空間模型,重點(diǎn)對滑模變結(jié)構(gòu)電流控制方法進(jìn)行了分析與設(shè)計(jì),采用指數(shù)趨近律法削弱抖振,并對影響性能的參數(shù)進(jìn)行了研究。仿真和實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:所提出的控制方法克服了傳統(tǒng)方式下可能出現(xiàn)的起輝失敗、負(fù)載擾動(dòng)下電流波動(dòng)大等缺點(diǎn),提高了起輝成功率,并且對負(fù)載擾動(dòng)具有很強(qiáng)的抑制能力。
[Abstract]:Based on the particularity of plasma load in pulsed magnetron sputtering power supply and the control requirement of output voltage and current in coating process, A hybrid control strategy based on Pi control voltage loop and sliding mode variable structure control current loop is proposed. The average state space model of phase-shifted full-bridge converter is established in this paper. This paper focuses on the analysis and design of sliding mode variable structure current control method, and adopts exponential approach law weakening chattering. The simulation and experimental results show that the proposed control method overcomes the shortcomings of the traditional method, such as the failure of starting up, the large fluctuation of current under load disturbance, and so on, and improves the success rate of starting. And the load disturbance has a strong suppression ability.
【作者單位】： 西安理工大學(xué)自動(dòng)化與信息工程學(xué)院;
【基金】：陜西省工業(yè)攻關(guān)研究發(fā)展計(jì)劃資助項(xiàng)目(2011 K09-05)
【分類號(hào)】：TG173

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級參考文獻(xiàn)】

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