本文關鍵詞： 飛秒激光 微加工 內嵌微球透鏡　出處：《北京工業(yè)大學學報》2015年12期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：利用聚焦的高重復頻率飛秒脈沖在聚甲基丙烯酸甲酯薄片內部制作了具有優(yōu)良光學性能的微球凸透鏡及微球凹透鏡.微球凸透鏡的加工原理是基于飛秒激光誘致折射率變化機制,而微球凹透鏡的制作是基于多光子效應及高重頻激光脈沖序列的熱積累效應.以微球凹透鏡為例,對比了不同聚焦條件下制作微球透鏡的加工效率及效果,討論了選擇聚焦透鏡所需綜合考慮的因素.提出了采用本方法可針對特定的應用需求設計并精確制作微光學系統(tǒng).最后,討論了內嵌式微透鏡在微流控器件中增強熒光信號收集能力與成像能力的潛在應用價值,以及單步制作功能集成的微流控芯片的可能性.
[Abstract]:Microsphere convex lens and microsphere concave lens with excellent optical properties have been fabricated by focusing high repetition frequency femtosecond pulse inside the polymethyl methacrylate wafer. The fabrication principle of microsphere convex lens is based on femtosecond laser induced by femtosecond laser. Refractive index variation mechanism, The fabrication of microsphere concave lens is based on the multi-photon effect and the thermal accumulation effect of high repetition frequency laser pulse sequence. Taking the microsphere concave lens as an example, the processing efficiency and effect of the microsphere lens under different focusing conditions are compared. The factors that need to be considered in selecting focusing lens are discussed. It is proposed that this method can be used to design and accurately fabricate micro optical system according to specific application requirements. Finally, The potential application value of embedded microlens in enhancing the ability of fluorescence signal collection and imaging in microfluidic devices and the possibility of one-step fabrication of integrated microfluidic chips are discussed.
【作者單位】： 北京工業(yè)大學激光工程研究院;美國田納西大學機械航空生物工程系;
【基金】：國家科技部基金資助項目(2011YQ030112) 北京市自然科學基金資助項目(4132017)
【分類號】：TH74;TG66

【參考文獻】

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本文編號：1547900