本文關(guān)鍵詞： 熔石英元件 殘余應(yīng)力 納米壓痕 亞表面裂紋 拋光加工表面　出處：《哈爾濱工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào)》2015年05期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：為解決傳統(tǒng)檢測方法無法直接定量檢測非晶體熔石英玻璃表面殘余應(yīng)力的問題,基于脆性固體斷裂力學(xué)理論,推導(dǎo)殘余應(yīng)力的理論計(jì)算公式,提出光學(xué)元件拋光加工表面殘余應(yīng)力計(jì)算新方法.采用尖銳壓頭進(jìn)行納米印壓實(shí)驗(yàn),提取壓痕過程中對(duì)殘余應(yīng)力敏感的參數(shù),并對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行線性擬合,確定擬合線的斜率,通過測量殘余應(yīng)力引起其他物理參數(shù)的變化計(jì)算殘余應(yīng)力.對(duì)比分析結(jié)果表明,計(jì)算得到殘余應(yīng)力值與應(yīng)力雙折射儀檢測得到的數(shù)據(jù)基本吻合,驗(yàn)證了提出殘余應(yīng)力計(jì)算方法的正確性.
[Abstract]:In order to solve the problem that the surface residual stress of amorphous fused quartz glass can not be detected directly by traditional testing method, the theoretical calculation formula of residual stress is derived based on the fracture mechanics theory of brittle solid. A new method for calculating residual stress on polishing surface of optical element is presented. The parameters sensitive to residual stress in the process of indentation are extracted by using sharp indenter to carry out nano-imprint experiments, and the slope of fitting line is determined by linear fitting of experimental data. The residual stress is calculated by measuring the variation of other physical parameters caused by residual stress. The results of comparison and analysis show that the calculated residual stress values are in good agreement with the data obtained by the stress birefringence instrument. The correctness of the proposed method is verified.
【作者單位】： 哈爾濱工業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;中國工程物理研究院激光聚變研究中心;
【基金】：國家自然科學(xué)基金委員會(huì)與中國工程物理研究院聯(lián)合基金(U1230110) 國家自然科學(xué)基金(51475106) 中國工程物理研究院超精密加工技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金(KF14007)
【分類號(hào)】：TG580.692

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1527015