本文關(guān)鍵詞：超精密機床液體靜壓導(dǎo)軌的設(shè)計與可靠性分析

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【摘要】：超精密加工技術(shù)在現(xiàn)代工業(yè)中占有重要地位,決定超精密加工技術(shù)的關(guān)鍵是超精密機床,而超精密機床的核心部件是導(dǎo)軌。液體靜壓導(dǎo)軌運動具有高剛度、高精度、低磨損、長壽命、減震吸振效果好等優(yōu)點,因此運用廣泛。本文以廣東省微納加工技術(shù)與裝備重點實驗室自主研發(fā)的NMM500五軸機床液體靜壓導(dǎo)軌為研究對象,主要從以下幾方面的內(nèi)容進行了研究：(1)對各種類型的液體靜壓導(dǎo)軌進行了詳細的分析和綜合的比較。對NMM500五軸機床液體靜壓導(dǎo)軌進行了三維建模設(shè)計,并對導(dǎo)軌的各參數(shù)進行了計算。介紹了液體靜壓導(dǎo)軌的供油系統(tǒng)及毛細管節(jié)流器的設(shè)計。(2)對液體靜壓導(dǎo)軌進行了螺栓預(yù)緊力仿真分析,得出了導(dǎo)軌變形曲線。分析了實際導(dǎo)軌面的直線度,建立了導(dǎo)軌運動的簡化模型。并根據(jù)油膜承載的相關(guān)理論建立數(shù)學(xué)模型,計算出了液體靜壓導(dǎo)軌運動的直線度誤差。(3)介紹了液體靜壓導(dǎo)軌的熱處理、表面刮研處理、安裝與修正。對液體靜壓導(dǎo)軌表面和液體靜壓導(dǎo)軌運動的直線度誤差進行了檢測。重點闡述了實驗結(jié)果數(shù)據(jù)的處理及結(jié)果的表達。(4)設(shè)計了可靠性試驗,分析了液體靜壓導(dǎo)軌在不同環(huán)境參數(shù)下工作的可靠度。并進一步設(shè)計正交試驗,分析各環(huán)境條件綜合作用對液體靜壓導(dǎo)軌直線運動的影響,并找出了最大影響因子。
【學(xué)位授予單位】：廣東工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號】：TG502.3

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本文編號：1271651