發(fā)布時(shí)間：2017-11-25 00:19

  本文關(guān)鍵詞：微細(xì)電解加工及與光纖激光掩膜復(fù)合加工技術(shù)研究

  更多相關(guān)文章： 電解加工 微細(xì)加工 光纖激光器 掩膜 不銹鋼

【摘要】：電解加工是以“離子”方式電化學(xué)反應(yīng)去除陽(yáng)極金屬材料,去除單位微小化,使微細(xì)電解加工成為微細(xì)加工領(lǐng)域研究的熱點(diǎn)技術(shù)之一。從加工機(jī)理上講,高頻窄脈沖電源在電化學(xué)中使用時(shí),在加工間隙中會(huì)產(chǎn)生特殊的物理特性和化學(xué)特性,能夠使高頻窄脈沖電化學(xué)加工在復(fù)制精度、重復(fù)精度、表面質(zhì)量、加工效率、加工過(guò)程穩(wěn)定性等方面有很大的提高。研發(fā)一種新型脈沖微細(xì)電解加工電源,并使用低濃度鈍化電解液,合理調(diào)整脈間和脈寬大小,在超短脈沖加工時(shí)間內(nèi)由于產(chǎn)生的電解產(chǎn)物很少,以使得在脈沖間歇時(shí)極間電解液極易得到更新和恢復(fù),這樣使得電化學(xué)加工中的形狀精度、尺寸精度、表面質(zhì)量都有很大的提高。本項(xiàng)目利用研發(fā)的高頻窄脈沖電源,利用微細(xì)電解方法制作微細(xì)電極,利用微細(xì)電解銑削加工制作微結(jié)構(gòu)。將微細(xì)電解加工與激光表面改性處理相結(jié)合,進(jìn)行微細(xì)電解與激光掩膜復(fù)合加工研究。利用光纖脈沖激光在304不銹鋼表面采用直寫方式進(jìn)行表面改性處理,生成具有抗腐蝕性的保護(hù)圖案,再將激光表面改性技術(shù)與微細(xì)電解加工技術(shù)相結(jié)合,無(wú)須光刻掩膜,利用精密激光表面改性生成的具有耐腐蝕特性的表層圖案作為微細(xì)電解加工中的掩膜,通過(guò)微細(xì)電解加工,利用簡(jiǎn)單塊電極就能生成復(fù)雜的二維結(jié)構(gòu),克服了以往的微細(xì)電解加工中需要光刻制作掩膜成本高的缺陷,也克服了采用超窄脈沖電解銑削加工需要制作微細(xì)電極和微細(xì)電解銑削加工效率低等難題。通過(guò)對(duì)304不銹鋼微細(xì)激光表面改性過(guò)程中產(chǎn)生的相變、熔凝所生成的特殊表面層性能分析,研究該特殊表層在微細(xì)電解中起到掩膜作用的機(jī)理。
【學(xué)位授予單位】：佳木斯大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號(hào)】：TG174.4

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 楊光 ,鄭云飛 ,李勇;微細(xì)電化學(xué)加工電源的設(shè)計(jì)與研究[J];電加工與模具;2002年02期

，

本文編號(hào)：1224127