大口徑純鎢藥型罩CVD制備工藝控制與破甲特性研究
【文章頁數(shù)】:69 頁
【學(xué)位級別】:碩士
【部分圖文】:
圖1-1射流形成過程示意圖
爆藥柱、藥型罩、炸藥裝藥(主、副)、隔板等,它的破甲威力通常以破甲率度以及破甲后效來評定[1,2]。藥型罩是破甲戰(zhàn)斗部的核心部件,藥型罩的表面均勻性、組織特征對破甲戰(zhàn)斗部的破甲威力具有重要影響,因此國內(nèi)外學(xué)者材料選擇及制備工藝進行了深入研究。1藥型罩材料研究1.1影響藥型罩性....
圖1-3沉積反應(yīng)速率與沉積溫度、反應(yīng)氣體配比的關(guān)系
-3沉積反應(yīng)速率與沉積溫度、反應(yīng)氣體配比的量響反應(yīng)物向生長表面的輸運速率,可引起材氣體流量過大,一方面導(dǎo)致原料浪費,尾氣于沉積室內(nèi),反應(yīng)物反應(yīng)速率超過了沉積物致氣相形核,從而降低沉積層質(zhì)量。氣體流積效率,使反應(yīng)無法充分進行。型罩的沉積設(shè)備及沉積工藝研究莫爾國家實驗室成功制備了直....
圖2-2化學(xué)氣相沉積過程反應(yīng)步驟示意圖
圖2-2化學(xué)氣相沉積過程反應(yīng)步驟示意圖圖2-3CVD沉積設(shè)備示意圖完成物質(zhì)輸運的唯一通道。反應(yīng)氣體H2和WF6進入物排放到尾氣處理裝置的過程都是通過輸氣管路完成路出現(xiàn)兩處堵塞,一方面WF6進氣端的管路較長(見
圖2-3CVD沉積設(shè)備示意圖
14圖2-3CVD沉積設(shè)備示意圖氣管路是完成物質(zhì)輸運的唯一通道。反應(yīng)氣體H2和WF6進入沉積室的反應(yīng)廢棄物排放到尾氣處理裝置的過程都是通過輸氣管路完成的。在實,通氣管路出現(xiàn)兩處堵塞,一方面WF6進氣端的管路較長(見圖2-3),使得反應(yīng)氣體的入氣量逐漸減少,最終無法完....
本文編號:3923754
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