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大口徑純鎢藥型罩CVD制備工藝控制與破甲特性研究

發(fā)布時間:2024-03-09 18:23
  鎢具有高密度(19.3 g/cm3)、適中聲速(4.03 km/s)以及良好的延展性等特點(diǎn),被研究學(xué)者廣泛視為極具發(fā)展前景的藥型罩材料。本課題組前期采用CVD方法制備獲得小口徑純鎢藥型罩,并在靜破甲試驗中獲得較好的穿深,同時分析了純鎢藥型罩的破甲特性及破甲機(jī)理。在此基礎(chǔ)上,本文采用CVD方法制備大口徑純鎢藥型罩,但實際沉積過程中發(fā)現(xiàn)CVD設(shè)備故障和沉積工藝選擇的不合理,導(dǎo)致獲得的藥型罩表面質(zhì)量粗糙,組織晶粒粗大,藥型罩破甲威力顯著降低。為了優(yōu)化藥型罩組織,探究大口徑藥型罩破甲特性,提高藥型罩破甲威力,本文通過改進(jìn)自制CVD設(shè)備、調(diào)控沉積工藝,制備獲得了晶粒細(xì)化的大口徑純鎢藥型罩;通過靜破甲試驗和靜破甲試驗后對彈道特征及靶板微觀組織的分析,對大口徑純鎢藥型罩破甲特性和破甲機(jī)理進(jìn)行了探討;通過對靜破甲試驗后回收杵體的形貌和微觀組織進(jìn)行分析,研究了純鎢在爆炸加載條件下的變形機(jī)制。根據(jù)大口徑純鎢藥型罩CVD制備的沉積要求,本文對沉積過程中出現(xiàn)的管路堵塞、藥型罩表面粗糙和藥型罩壁厚不均問題進(jìn)行了改進(jìn):通過簡化管路,使用密封性更佳的手動閥門代替單向閥,解決了沉積過程中管路堵塞...

【文章頁數(shù)】:69 頁

【學(xué)位級別】:碩士

【部分圖文】:

圖1-1射流形成過程示意圖

圖1-1射流形成過程示意圖

爆藥柱、藥型罩、炸藥裝藥(主、副)、隔板等,它的破甲威力通常以破甲率度以及破甲后效來評定[1,2]。藥型罩是破甲戰(zhàn)斗部的核心部件,藥型罩的表面均勻性、組織特征對破甲戰(zhàn)斗部的破甲威力具有重要影響,因此國內(nèi)外學(xué)者材料選擇及制備工藝進(jìn)行了深入研究。1藥型罩材料研究1.1影響藥型罩性....


圖1-3沉積反應(yīng)速率與沉積溫度、反應(yīng)氣體配比的關(guān)系

圖1-3沉積反應(yīng)速率與沉積溫度、反應(yīng)氣體配比的關(guān)系

-3沉積反應(yīng)速率與沉積溫度、反應(yīng)氣體配比的量響反應(yīng)物向生長表面的輸運(yùn)速率,可引起材氣體流量過大,一方面導(dǎo)致原料浪費(fèi),尾氣于沉積室內(nèi),反應(yīng)物反應(yīng)速率超過了沉積物致氣相形核,從而降低沉積層質(zhì)量。氣體流積效率,使反應(yīng)無法充分進(jìn)行。型罩的沉積設(shè)備及沉積工藝研究莫爾國家實驗室成功制備了直....


圖2-2化學(xué)氣相沉積過程反應(yīng)步驟示意圖

圖2-2化學(xué)氣相沉積過程反應(yīng)步驟示意圖

圖2-2化學(xué)氣相沉積過程反應(yīng)步驟示意圖圖2-3CVD沉積設(shè)備示意圖完成物質(zhì)輸運(yùn)的唯一通道。反應(yīng)氣體H2和WF6進(jìn)入物排放到尾氣處理裝置的過程都是通過輸氣管路完成路出現(xiàn)兩處堵塞,一方面WF6進(jìn)氣端的管路較長(見


圖2-3CVD沉積設(shè)備示意圖

圖2-3CVD沉積設(shè)備示意圖

14圖2-3CVD沉積設(shè)備示意圖氣管路是完成物質(zhì)輸運(yùn)的唯一通道。反應(yīng)氣體H2和WF6進(jìn)入沉積室的反應(yīng)廢棄物排放到尾氣處理裝置的過程都是通過輸氣管路完成的。在實,通氣管路出現(xiàn)兩處堵塞,一方面WF6進(jìn)氣端的管路較長(見圖2-3),使得反應(yīng)氣體的入氣量逐漸減少,最終無法完....



本文編號:3923754

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