針對(duì)MEMS火工品低能化、集成化技術(shù)要求,設(shè)計(jì)了一種基于MEMS工藝的微起爆器,通過(guò)仿真計(jì)算獲得了基體材料、換能元材料、火工藥劑與微起爆器起爆性能的影響規(guī)律,確定了微起爆器的結(jié)構(gòu)參數(shù);通過(guò)MEMS工藝完成微起爆器一體化集成制作,對(duì)結(jié)構(gòu)參數(shù)以及起爆性能進(jìn)行了測(cè)試,結(jié)果表明結(jié)構(gòu)尺寸與設(shè)計(jì)尺寸誤差小于6%;微起爆器發(fā)火電壓小于3V,裝藥直徑1mm、裝藥量2.0mg時(shí),可以可靠起爆CL-20炸藥,實(shí)現(xiàn)了低能化、集成化的要求,為MEMS火工品提供技術(shù)支撐。

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【文章目錄】：
1 微起爆器仿真計(jì)算
    1.1 物理模型
    1.2 仿真計(jì)算
        1.2.1 基體材料對(duì)起爆性能的影響規(guī)律
        1.2.2 換能元材料對(duì)起爆性能的影響規(guī)律
        1.2.3 火工藥劑對(duì)起爆性能的影響規(guī)律
2 微起爆器集成及表征分析
    2.1 一體化集成制作
    2.2 性能表征
3 微起爆器性能測(cè)試
    3.1 臨界發(fā)火電壓測(cè)試
    3.2 輸出性能測(cè)試
4 結(jié)論



本文編號(hào)：3759173