本文關鍵詞：化學機械拋光超薄SUS304不銹鋼拋光液研究

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【摘要】：柔性顯示已成為下一代顯示技術的研究熱點,不銹鋼材料是柔性大尺寸顯示器襯底的主要材料之一。為優(yōu)化不銹鋼表面的超光滑無損傷加工,采用化學機械拋光(CMP)技術,通過正交試驗,研究磨料粒度尺寸、分散劑、氧化劑、磨料質量、緩蝕劑用量等因素對拋光后材料去除率和表面粗糙度的影響。試驗結果表明:磨料粒度尺寸對表面粗糙度的影響最大,其次為雙氧水、丙三醇、草酸、磨料質量;影響材料去除率的因素排列是磨料粒度尺寸、磨料含量、丙三醇含量、草酸含量、雙氧水含量。
【作者單位】： 河南理工大學機械與動力工程學院;駐馬店技師學院機械工程系;河南科技學院機電學院;
【關鍵詞】： 不銹鋼片 化學機械拋光 拋光液 材料去除率 表面粗糙度
【基金】：國家自然科學基金面上項目資助(NO.51375149)
【分類號】：TG175.1;TG580.692
【正文快照】： 柔性顯示器具有超薄、質量輕、耐用、儲存量大、設計自由、可撓曲、可收卷和耐沖擊等性能[1 2],廣泛應用于工業(yè)、民用及軍事行業(yè)[3 7],成為研究熱點。柔性顯示器對柔性襯底的表面質量及性能要求非常嚴格,表面粗糙度須小于5 nm,波紋度小于0.1μm。不銹鋼材料性能出色、成本低

【參考文獻】

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1 陳佳鵬;陳紹坤;李慶;秦洪權;蘇建修;;用堿性拋光液化學機械拋光304不銹鋼片研究[J];金剛石與磨料磨具工程;2016年02期

2 鄭海鳳;魏昕;謝小柱;楊向東;胡偉;;不銹鋼基板化學機械拋光過程溫度研究[J];金剛石與磨料磨具工程;2014年02期

3 王s，

本文編號：855270