本文關(guān)鍵詞：Mo含量對CrMoAlN薄膜微觀結(jié)構(gòu)和摩擦磨損性能的影響

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【摘要】：采用非平衡磁控濺射離子鍍技術(shù)在M2工具鋼和單晶Si表面沉積多元CrMoAlN納米多層薄膜.利用EDS,SEM,XRD,XPS,納米壓痕儀和銷盤磨損試驗儀研究Mo含量對CrMoAlN薄膜成分、表面和截面形貌、相結(jié)構(gòu)、化學(xué)價態(tài)、顯微硬度和摩擦性能的影響.結(jié)果表明,不同Mo含量的CrMoAlN薄膜均為fcc結(jié)構(gòu),Mo代替了Cr Al N晶格中部分Cr或Al的位置,形成了以fcc-Cr N相為基礎(chǔ)的CrMoAlN置換固溶體.隨著Mo含量提高,CrMoAlN薄膜表面顆粒尺寸明顯減小,截面柱狀晶結(jié)構(gòu)逐漸消失.CrMoAlN薄膜的顯微硬度和彈性模量隨著Mo含量的增加而提高,摩擦系數(shù)和磨損率隨著Mo含量的提高而降低.Mo含量為19.47%(原子分數(shù))時,顯微硬度與彈性模量均達到最大值29.70 GPa和427.53 GPa,摩擦系數(shù)和磨損率達到最小值0.271和1.2×10-16m3/(N·m).
【作者單位】： 浙江工業(yè)大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： CrMoAlN納米多層薄膜 磁控濺射 微觀結(jié)構(gòu) 摩擦磨損性能
【基金】：浙江省自然科學(xué)基金資助項目Y15E050060~~
【分類號】：TG174.4
【正文快照】： Manuscript received 2015-09-21,in revised form 2016-03-09Cr N硬質(zhì)薄膜因具有較高的硬度、耐磨性、耐高溫性及膜基結(jié)合強度等特性得到廣泛應(yīng)用[1~6].近年來,在Cr N硬質(zhì)薄膜的基礎(chǔ)上通過添加其它元素(例如Al[7],Ni[8],Si[9],V[10]等)形成多元硬質(zhì)薄膜來進一步改善薄膜的硬

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 齊東麗;雷浩;范迪;裴志亮;宮駿;孫超;;Mo含量對CrMoN復(fù)合涂層的組織結(jié)構(gòu)和性能的影響[J];金屬學(xué)報;2015年03期

2 Dongli Qi;Hao Lei;Tiegang Wang;Zhiliang Pei;Jun Gong;Chao Sun;;Mechanical,Microstructural and Tribological Properties of Reactive Magnetron Sputtered Cr-Mo-N Films[J];Journal of Materials Science & Technology;2015年01期

3 許俊華;鞠洪博;喻利花;;Mo含量對TiMoN薄膜微觀組織和摩擦磨損性能的影響[J];金屬學(xué)報;2012年09期

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 趙時璐;張震;張鈞;王建明;張正貴;;多弧離子鍍TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N梯度膜的微觀結(jié)構(gòu)與耐磨損性能[J];金屬學(xué)報;2016年06期

2 樓白楊;王宇星;;Mo含量對CrMoAlN薄膜微觀結(jié)構(gòu)和摩擦磨損性能的影響[J];金屬學(xué)報;2016年06期

3 喻利花;孫晨;許俊華;;Cu含量對NbCN-Cu復(fù)合膜微結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能及摩擦磨損性能的影響[J];真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報;2016年04期

4 胡紅霞;鞠洪博;許俊華;;碳含量對NbVCN薄膜的微觀結(jié)構(gòu)、力學(xué)及摩擦磨損性能的影響[J];真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報;2016年01期

5 喻利花;董鴻志;許俊華;;W含量對Ti_(1-x)W_xN復(fù)合膜的微結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能和摩擦性能的影響[J];粉末冶金材料科學(xué)與工程;2014年05期

6 鞠洪博;喻利花;許俊華;;不同調(diào)制周期TiAlSiN/Mo_2N多層膜的微觀結(jié)構(gòu)、力學(xué)和摩擦性能研究[J];真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報;2014年06期

7 許俊華;薛雅平;曹峻;喻利花;;TaMoN復(fù)合膜的微結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能與摩擦性能[J];稀有金屬材料與工程;2014年06期

8 鞠洪博;喻利花;許俊華;;制備工藝對磁控濺射Mo-N薄膜微結(jié)構(gòu)和性能的影響[J];真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報;2014年05期

9 王振玉;徐勝;張棟;劉新才;柯培玲;汪愛英;;N_2流量對HIPIMS制備TiSiN涂層結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能的影響[J];金屬學(xué)報;2014年05期

10 鞠洪博;喻利花;許俊華;;不同調(diào)制比NbSiN/VN多層膜微觀結(jié)構(gòu)、力學(xué)和摩擦性能研究[J];真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報;2014年03期

【二級參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 王常川;王日初;彭超群;馮艷;韋小鳳;;金屬基固體自潤滑復(fù)合材料的研究進展[J];中國有色金屬學(xué)報;2012年07期

2 ;The effects of modulation period,modulation ratio,and deposition temperature on microstructure and mechanical properties of ZrB_2/W multilayers[J];Science China(Technological Sciences);2010年09期

3 喻利花;董師潤;許俊華;李戈揚;;TaN/TiN和NbN/TiN納米結(jié)構(gòu)多層膜超硬效應(yīng)及超硬機理研究[J];物理學(xué)報;2008年11期

4 喻利花;董松濤;董師潤;許俊華;;AlN/Si_3N_4納米多層膜的外延生長與力學(xué)性能[J];物理學(xué)報;2008年08期

5 劉春海;杜曉松;汪德志;黃寧康;楊斌;;H~+輻照前后Mo涂層表面的XPS分析[J];功能材料;2007年02期

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前4條

1 鐘培金;Mo含量對含Mn和V的Mo_2NiB_2基硬質(zhì)合金顯微結(jié)構(gòu)和機械性能的影響[J];稀有金屬快報;2004年10期

2 王偉偉;龍興貴;劉文科;黃剛;;Mo含量對Ti-Mo合金氫同位素效應(yīng)的影響[J];同位素;2009年03期

3 郭大蛟;;高Mo含量對Ni-Cr合金抗Cl~-腐蝕作用的研究[J];儀表材料;1981年05期

4 ;[J];;年期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 高劍峰;凌洪飛;趙葵東;;Mo含量和Mo同位素對古海洋氧化還原環(huán)境演化的指示作用[A];第八屆全國同位素地質(zhì)年代學(xué)、同位素地球化學(xué)學(xué)術(shù)討論會資料集[C];2005年

2 高劍峰;凌洪飛;趙葵東;;Mo含量和Mo同位素對古海洋氧化還原環(huán)境演化的指示作用[A];第八屆全國同位素地質(zhì)年代學(xué)和同位素地球化學(xué)學(xué)術(shù)討論會論文集[C];2005年

3 邢獻強;;Mo含量對60Si_2Mn熱軋線材組織的影響[A];中國金屬學(xué)會2003中國鋼鐵年會論文集（4）[C];2003年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 杜樂一;Mo含量對1RK91馬氏體時效不銹鋼組織與性能的影響[D];浙江大學(xué);2012年

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本文編號：536736