發(fā)布時(shí)間：2017-06-17 01:06

  本文關(guān)鍵詞：塑性微成形技術(shù)研究進(jìn)展，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：隨著微納米科學(xué)和微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)技術(shù)的快速發(fā)展,人們對(duì)微型零件的需求日益增加。塑性微成形是一種采用塑性變形,成形零件尺寸至少有兩個(gè)方向在亞毫米量級(jí)的微制造方法,具有加工效率高、工藝簡(jiǎn)單以及成形零件性能優(yōu)異和精度高等特點(diǎn),特別適合于微型零件的低成本批量制造。介紹了塑性微成形技術(shù)的研究背景、應(yīng)用領(lǐng)域及其優(yōu)點(diǎn),綜述了微成形在尺度效應(yīng)、新設(shè)備以及工藝方法等方面的最新研究進(jìn)展,并論述了微成形技術(shù)在新材料(超細(xì)晶材料及非晶材料)方面的發(fā)展趨勢(shì)。
【作者單位】： 哈爾濱工業(yè)大學(xué)微系統(tǒng)與微結(jié)構(gòu)制造教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 微成形 尺度效應(yīng) 微型零件 超細(xì)晶材料 微機(jī)電系統(tǒng)
【基金】：國(guó)家重大科學(xué)研究計(jì)劃(2012CB4102) 國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51375111)
【分類(lèi)號(hào)】：TG306
【正文快照】： 1前言隨著微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)技術(shù)的快速發(fā)展和逐步進(jìn)入實(shí)用化,人們對(duì)微型零件的需求日益增加[1],尤其是應(yīng)用到微系統(tǒng)的三維微結(jié)構(gòu)零件,例如,微電子元器件、微型執(zhí)行機(jī)構(gòu)的微型齒輪類(lèi)零件、紡織印染領(lǐng)域陣列微噴孔類(lèi)零件、生物醫(yī)療以及光學(xué)領(lǐng)

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