發(fā)布時間：2024-04-22 21:24

　　隨著微電子技術(shù)的發(fā)展與微器件需求的增加,微細電解加工技術(shù)被廣泛地應(yīng)用于航空航天、精密儀器、生物醫(yī)療等領(lǐng)域。但目前普通的電解加工雜散腐蝕嚴重,加工定域性較差,為此本文結(jié)合高頻脈沖電解加工理論與高轉(zhuǎn)速螺旋電極的加工原理,提出了一種高效微細電解加工工藝,對微細電解鉆銑削加工間隙的電場和流場進行了仿真研究,并進行了一系列試驗研究。本文主要的研究內(nèi)容如下:(1)深入分析了高頻脈沖微細電解加工的基本原理與特點。采用高頻脈沖電源進行電解加工能夠較好地抑制雜散腐蝕,顯著提高加工的定域性,并分析了電解加工中的電化學特性與流場特性,為后續(xù)的仿真研究提供理論指導。(2)提出了一種高效的微細電解鉆銑削加工工藝一高頻脈沖電源與高轉(zhuǎn)速螺旋微電極聯(lián)合作用,介紹了多物理場仿真方法與試驗裝置。分別建立了高頻脈沖電解加工間隙電場與間隙流場的數(shù)學模型,從理論上討論了高轉(zhuǎn)速螺旋電極促進電解液更新的原因,并搭建了微細電解加工試驗平臺。(3)對高頻脈沖微細電解鉆削加工過程中的間隙電場與間隙流場進行仿真,并進行了試驗研究。依次考慮電場、電化學極化、濃差極化因素,對加工間隙的電流密度與工件表面的輪廓變化進行了仿真分析與預(yù)測,當考慮的...

【文章頁數(shù)】：97 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖１－１脈沖微細電解加工的微結(jié)構(gòu)??韓國首爾大學的Ａｈｎ?Ｓ?Ｈ等人對納秒脈沖微細電解鉆孔進行了研宄，探??

山東大學碩士學位論文??ｔｚ－Ｈａｂｅｒ研究所的Ｓｃｈｕｓｔｅｒ?Ｒ、Ｋｉｒｃｈｎｅｒ?Ｖ等ｕＳＣＵ和０．０１ＭＨＣ１０４的混合溶液中，陰陽兩短脈沖電源，利用直徑為１０ｐｍ的Ｐｔ電極成結(jié)構(gòu)。同時，在加工過程中為了監(jiān)測工件相臺上配備了應(yīng)變儀，將刀具與工件之間的最圖ｌ－ｌ（ａ）所示是....

圖１－２脈沖微細電解鉆孔加工??

即采用相對較大的加工電壓和較寬的脈沖寬度，利用“兩步法”成??功地在厚度為２０ｐｍ的鋼板上完成了微孔加工，得到了直徑為８＾ｉｍ的高質(zhì)量??通孔，如圖１－２所示。??■?Ｉ??圖１－２脈沖微細電解鉆孔加工??１．２．２掩膜微細電解加工技術(shù)??掩膜微細電解加工技術(shù)是在電解加工技術(shù)的基....

圖１－４鈍化膜掩膜微細電解加工微結(jié)構(gòu)??

（ｃ）電解液溫度為２５Ｘ：?（ｄ）電解液溫度為－１０°Ｃ??圖１－３掩膜微細電解加工微結(jié)構(gòu)??在這之后，ＬａｎｄｏｌｔＤ等人對掩膜微細電解加工進行了更深入的探究，??討論了質(zhì)量輸運、電流分布和鈍化膜在控制被加工表面外型與粗糙度中的作??用。由于當時大部分的掩膜微細電解加工技術(shù)只能....

圖１－３掩膜微細電解加工微結(jié)構(gòu)??

能夠擴大其加工范圍，Ｌａｎｄｏｌｔ?Ｄ等人提出了一種鈍化膜掩膜微細電解加工??方法，使其能夠應(yīng)用于加工非平面。??圖１－４鈍化膜掩膜微細電解加工微結(jié)構(gòu)??５??

本文編號：3962264