隨著微電子技術(shù)的發(fā)展與微器件需求的增加,微細(xì)電解加工技術(shù)被廣泛地應(yīng)用于航空航天、精密儀器、生物醫(yī)療等領(lǐng)域。但目前普通的電解加工雜散腐蝕嚴(yán)重,加工定域性較差,為此本文結(jié)合高頻脈沖電解加工理論與高轉(zhuǎn)速螺旋電極的加工原理,提出了一種高效微細(xì)電解加工工藝,對(duì)微細(xì)電解鉆銑削加工間隙的電場(chǎng)和流場(chǎng)進(jìn)行了仿真研究,并進(jìn)行了一系列試驗(yàn)研究。本文主要的研究?jī)?nèi)容如下:(1)深入分析了高頻脈沖微細(xì)電解加工的基本原理與特點(diǎn)。采用高頻脈沖電源進(jìn)行電解加工能夠較好地抑制雜散腐蝕,顯著提高加工的定域性,并分析了電解加工中的電化學(xué)特性與流場(chǎng)特性,為后續(xù)的仿真研究提供理論指導(dǎo)。(2)提出了一種高效的微細(xì)電解鉆銑削加工工藝一高頻脈沖電源與高轉(zhuǎn)速螺旋微電極聯(lián)合作用,介紹了多物理場(chǎng)仿真方法與試驗(yàn)裝置。分別建立了高頻脈沖電解加工間隙電場(chǎng)與間隙流場(chǎng)的數(shù)學(xué)模型,從理論上討論了高轉(zhuǎn)速螺旋電極促進(jìn)電解液更新的原因,并搭建了微細(xì)電解加工試驗(yàn)平臺(tái)。(3)對(duì)高頻脈沖微細(xì)電解鉆削加工過程中的間隙電場(chǎng)與間隙流場(chǎng)進(jìn)行仿真,并進(jìn)行了試驗(yàn)研究。依次考慮電場(chǎng)、電化學(xué)極化、濃差極化因素,對(duì)加工間隙的電流密度與工件表面的輪廓變化進(jìn)行了仿真分析與預(yù)測(cè),當(dāng)考慮的...

【文章頁數(shù)】：97 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖１－１脈沖微細(xì)電解加工的微結(jié)構(gòu)??韓國首爾大學(xué)的Ａｈｎ?Ｓ?Ｈ等人對(duì)納秒脈沖微細(xì)電解鉆孔進(jìn)行了研宄，探??

山東大學(xué)碩士學(xué)位論文??ｔｚ－Ｈａｂｅｒ研究所的Ｓｃｈｕｓｔｅｒ?Ｒ、Ｋｉｒｃｈｎｅｒ?Ｖ等ｕＳＣＵ和０．０１ＭＨＣ１０４的混合溶液中，陰陽兩短脈沖電源，利用直徑為１０ｐｍ的Ｐｔ電極成結(jié)構(gòu)。同時(shí)，在加工過程中為了監(jiān)測(cè)工件相臺(tái)上配備了應(yīng)變儀，將刀具與工件之間的最圖ｌ－ｌ（ａ）所示是....

圖１－２脈沖微細(xì)電解鉆孔加工??

即采用相對(duì)較大的加工電壓和較寬的脈沖寬度，利用“兩步法”成??功地在厚度為２０ｐｍ的鋼板上完成了微孔加工，得到了直徑為８＾ｉｍ的高質(zhì)量??通孔，如圖１－２所示。??■?Ｉ??圖１－２脈沖微細(xì)電解鉆孔加工??１．２．２掩膜微細(xì)電解加工技術(shù)??掩膜微細(xì)電解加工技術(shù)是在電解加工技術(shù)的基....

圖１－４鈍化膜掩膜微細(xì)電解加工微結(jié)構(gòu)??

（ｃ）電解液溫度為２５Ｘ：?（ｄ）電解液溫度為－１０°Ｃ??圖１－３掩膜微細(xì)電解加工微結(jié)構(gòu)??在這之后，ＬａｎｄｏｌｔＤ等人對(duì)掩膜微細(xì)電解加工進(jìn)行了更深入的探究，??討論了質(zhì)量輸運(yùn)、電流分布和鈍化膜在控制被加工表面外型與粗糙度中的作??用。由于當(dāng)時(shí)大部分的掩膜微細(xì)電解加工技術(shù)只能....

圖１－３掩膜微細(xì)電解加工微結(jié)構(gòu)??

能夠擴(kuò)大其加工范圍，Ｌａｎｄｏｌｔ?Ｄ等人提出了一種鈍化膜掩膜微細(xì)電解加工??方法，使其能夠應(yīng)用于加工非平面。??圖１－４鈍化膜掩膜微細(xì)電解加工微結(jié)構(gòu)??５??

本文編號(hào)：3962264