隨著微機電領(lǐng)域推動產(chǎn)品元件向微小型化、智能化以及集成化的發(fā)展,如何提高微型元件的加工精度及加工效率已成為國內(nèi)外微細加工領(lǐng)域?qū)W者的研究熱點。微細電解加工以其加工精度高,無殘留機械應(yīng)力、無熱應(yīng)力、刀具損耗且不受材料硬度限制等優(yōu)勢,成為微細加工領(lǐng)域較為有發(fā)展前景的加工方式。本文主要研究通過微螺旋柱狀電極高速旋轉(zhuǎn)與超聲振動相結(jié)合的方式,提高微細電解加工的加工精度、穩(wěn)定性、表面加工質(zhì)量及加工效率,并進行微細電解鉆削、銑削的相關(guān)試驗研究,本文主要研究內(nèi)容為:(1)以高頻脈沖微細電解加工為基礎(chǔ),分析了超聲振動對加工間隙內(nèi)電解液流動、壓力的影響,得出了超聲振動輔助可提高微細電解加工的加工精度、穩(wěn)定性、表面加工質(zhì)量以及加工效率的結(jié)論,并建立微細電解鉆銑削的數(shù)學模型,最后根據(jù)使用要求搭建了超聲振動輔助微細電解加工機床。(2)優(yōu)化電化學刻蝕制備工具電極的加工工藝,研究了不同轉(zhuǎn)速對柱狀微電極形狀以及加工效率的影響,通過控制電極轉(zhuǎn)速及加工電壓,最終制備了末端電極直徑Φ15μm,同軸度誤差lμm以內(nèi)的三階柱狀微電極和螺距167μm,螺紋高度15μm的微螺旋柱狀電極,顯著縮短了電極制備的時間。(3)在理論的指導(dǎo)下,...

【文章頁數(shù)】：105 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖１－１應(yīng)用于航空領(lǐng)域的ＭＥＭＳ器件??

微磁學和材料等多重技術(shù)領(lǐng)域，如今己經(jīng)成為交通、通信、航天、精密測量、??醫(yī)療等行業(yè)的重要設(shè)備＾＇同時也是目前科技界公認未來最具發(fā)展?jié)摿??前瞻性的研宄領(lǐng)域。圖１－１為一些應(yīng)用于航空領(lǐng)域的ＭＥＭＳ器件［３－５１。??（ａ）微型芯片?（ｂ）慣性測量裝置器件?（ｃ＞陀螺儀??圖１－１....

圖１－２微細電解加工的微腔結(jié)構(gòu)??

圖ｌ－２（ａ）為ＶｉｏｌａＫｉｒｃｈｎｅｒ使用ＯｌＯｉｉｍ的柱狀鉑電極在超短脈沖電源下加??工出的雙層凸臺結(jié)構(gòu)，材料為銅，上層凸臺厚度為５ｊｉｍ表面粗糙度在ｌＯＯｎｍ??以內(nèi)圖ｌ－２（ｂ）為用于注射成型的模腔［１２１。圖１－２在一定程度上展示了微??細電解加工的加工精度與加工能力....

圖１－３納秒脈沖電源所加工微孔??

用超短脈沖電源進行微細電解鉆削加工提高加工定域性的同時，采用兩步加??工的方式降低微孔維度，最終使用直徑的柱狀微電極加工出入口直徑??０８叫１，出口直徑０７．３啊，錐度１°的微孔｜１３１，如圖１－３所示。??：：；，ｒ．－??ＨＨＨＨＳ３ＳＺＥ３??圖１－３納秒脈沖電源所加工微孔....

圖１－６竹節(jié)孔??

（ａ）側(cè)壁絕緣電極鉆削的微孔?（ｂ）螺旋柱狀微電極鉆削的微孔??圖１－４錐度較小的微孔??……＂?—??——．—一．．．．．一…．．．．…＇：．．．??？給：續(xù)ｙａ＾Ｕ．ｊ?ｉ？ｕ－子Ｖ４，＇：．．丨?．，．？■：?＾?．?－?？?ｗ?－?ｊ?？?Ｉ?ｖｌ?．？?＿．．．．．?：....

本文編號：3944515