發(fā)布時間：2022-12-22 05:44

　　三坐標(biāo)測量機(jī)主要用于測量表面形貌微小、復(fù)雜的零件。微納測頭是三坐標(biāo)測量機(jī)上的關(guān)鍵零部件,其性能直接影響三坐標(biāo)測量機(jī)的測量精度及穩(wěn)定性。剛度是微納測頭的關(guān)鍵屬性,它影響著微納測頭的測量接觸力、穩(wěn)定性、工藝性和動態(tài)響應(yīng)等特性。選取合適的剛度對微納測頭的性能提升意義重大,若選取剛度值過大,測量力將會過大,破壞工件表面;若選取剛度值過小,會有響應(yīng)速度慢,穩(wěn)定性和工藝性較差等問題�；趬簵U失穩(wěn)特性,構(gòu)造了一種十字交叉梁的壓桿式變剛度測頭。通過壓電驅(qū)動器驅(qū)動平行導(dǎo)向柔順機(jī)構(gòu),擠壓約束支撐梁,降低剛度,達(dá)到調(diào)節(jié)測頭剛度的目的�；谧钚菽茉�,建立了壓桿式變剛度測頭的剛度模型,得出剛度與壓電驅(qū)動力之間的關(guān)系曲線。通過有限元仿真驗(yàn)證了所建立的剛度模型,同時仿真分析了該測頭處于各向同性剛度時模態(tài)、諧響應(yīng)及瞬態(tài)響應(yīng)的動態(tài)特性。類比高靜態(tài)低動態(tài)隔震裝置,構(gòu)造了一種三梁型磁控變剛度測頭。通過電磁-永磁-電磁的結(jié)構(gòu)形式產(chǎn)生動剛度,將其并聯(lián)于測頭約束支撐機(jī)構(gòu),達(dá)到剛度調(diào)節(jié)的目的�；趧偠染仃嚪�,建立了測頭約束支撐梁靜剛度模型,同時得到該測頭各向同性剛度的約束條件。通過有限元仿真驗(yàn)證了所建立的靜剛度模型,同時得到動... 

【文章頁數(shù)】：93 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

幾種微型元器件Fig.1Severalminiaturecomponents

精密測量儀器分辨力Fig.3ResolutionofPrecisionmeasuringinstrument

NPL電容式測頭


本文編號：3723574