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大尺寸超薄不銹鋼柔性襯底超精密加工表面/亞表面損傷檢測及工藝研究

發(fā)布時間:2021-12-29 06:40
  不銹鋼因其低熱膨脹系數(shù)、水氧隔離性能優(yōu)越或成為柔性顯示器的主要襯底材料。這就要求其表面實現(xiàn)全局平坦化,通常采用研磨拋光的方法,但是加工往往產(chǎn)生損傷,對后續(xù)加工的去除量及不銹鋼襯底的使用性能均存在較大影響。本文主要對304不銹鋼研磨拋光工序加工效率和表面/亞表面的損傷進行研究,具體研究如下:(1)304不銹鋼加工表面/亞表面損傷的檢測方案利用金相顯微鏡、三維表面輪廓儀和掃描電鏡觀測304不銹鋼加工表面/亞表面損傷層厚度,通過sin2φ法測定304不銹鋼亞表面殘余應(yīng)力,并確定表面/亞表面損傷檢測策略:加工面形貌檢測、加工面拋光與殘余應(yīng)力檢測、鑲嵌制樣、截面研磨拋光、腐蝕、觀察和檢測。(2)游離磨料研磨304不銹鋼表面/亞表面損傷的檢測高效率和低損傷兩者很難保全;高壓、高轉(zhuǎn)速、大粒徑磨粒、短時間工況下研磨工件材料去除率高,達到1μm/min以上;低壓、低轉(zhuǎn)速、大粒徑磨粒、長時間工況下表面粗糙度較低,低于0.336μm,表面損傷層厚度較小,小于4.677μm;高轉(zhuǎn)速、小粒徑磨粒工況下,亞表面殘余應(yīng)力較低,低于-171.49±9.01MPa;低壓、低轉(zhuǎn)速、長時間工況下,亞損傷層厚度較小,小于8μ... 

【文章來源】:河南科技學院河南省

【文章頁數(shù)】:93 頁

【學位級別】:碩士

【部分圖文】:

大尺寸超薄不銹鋼柔性襯底超精密加工表面/亞表面損傷檢測及工藝研究


柔性顯示在生活中的應(yīng)用查閱大量文獻發(fā)現(xiàn),有機電致發(fā)光顯示器根據(jù)驅(qū)動方式的不同劃分成主動驅(qū)動式

大尺寸超薄不銹鋼柔性襯底超精密加工表面/亞表面損傷檢測及工藝研究


柔性O(shè)LED器件組成示意圖

超薄玻璃,可彎曲,基板


厚度 ++ - +柔韌性 ++ - +抗沖擊性 ++ - +成本 ++ + ++絕緣性 ++ ++ -透明度 ++ ++ -面平坦性 +/++ ++ -尺寸穩(wěn)定性 - ++ ++化轉(zhuǎn)變溫度 + ++ ++水阻氧特性 - ++ ++++表示特優(yōu),+表示良,-表示差。傳統(tǒng)玻璃本身材質(zhì)較硬,如果作為柔性基板應(yīng)用就需要對其減薄。當玻璃 0.1mm 時,就達到一定的彎曲性能,可以稱為柔性玻璃(圖 1-3)。

【參考文獻】:
期刊論文
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碩士論文
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本文編號:3555601

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