為了提高物理氣相沉積設(shè)備的性能與效率,本文對(duì)物理氣相沉積設(shè)備仿真軟件的系統(tǒng)架構(gòu)、歷史數(shù)據(jù)分析方法、數(shù)值模擬、動(dòng)畫(huà)仿真方法及系統(tǒng)安全性技術(shù)等進(jìn)行了較為深入系統(tǒng)的研究。根據(jù)某物理氣相沉積設(shè)備的操作流程,確定了物理氣相沉積設(shè)備仿真軟件的總體框架,基于Visual C#與.NET框架,采用C/S架構(gòu)分別對(duì)客戶(hù)端及服務(wù)器端軟件進(jìn)行了開(kāi)發(fā),利用MySQL軟件對(duì)服務(wù)器端物理氣相沉積設(shè)備實(shí)際運(yùn)行中產(chǎn)生的歷史數(shù)據(jù)進(jìn)行管理,設(shè)計(jì)了軟件的運(yùn)行流程,確定了軟件具體功能模塊（數(shù)據(jù)分析、參數(shù)優(yōu)化、動(dòng)畫(huà)仿真等）,對(duì)模塊功能進(jìn)行了詳細(xì)設(shè)計(jì)。構(gòu)建了基于BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)與RBF神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的預(yù)測(cè)模型,采用智能算法對(duì)這兩種網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行優(yōu)化,保證了兩種神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的學(xué)習(xí)效率與精度。通過(guò)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法實(shí)現(xiàn)了對(duì)物理氣相沉積歷史數(shù)據(jù)的學(xué)習(xí)以及對(duì)物理氣相沉積結(jié)果的預(yù)測(cè),實(shí)現(xiàn)了數(shù)據(jù)分析與參數(shù)優(yōu)化的功能。運(yùn)用Chart圖表控件、SVG動(dòng)畫(huà)技術(shù)、Pro/E動(dòng)畫(huà)仿真技術(shù)對(duì)物理氣相沉積過(guò)程進(jìn)行數(shù)值模擬、二維以及三維動(dòng)畫(huà)仿真;對(duì)物理氣相沉積設(shè)備仿真軟件系統(tǒng)的安全性進(jìn)行了設(shè)計(jì),采用賬戶(hù)密碼、權(quán)限管理以及數(shù)據(jù)加密的方式對(duì)技術(shù)信息以及歷史數(shù)據(jù)進(jìn)行了保護(hù),確保了系統(tǒng)關(guān)鍵... 

【文章來(lái)源】：電子科技大學(xué)四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁(yè)數(shù)】：98 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

國(guó)產(chǎn)物理氣相沉積設(shè)備

電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文目前，應(yīng)用在高端電子設(shè)備中的高性能導(dǎo)電涂層均是歐洲的廠商進(jìn)行制備的括 Apple，SAMSUNG 等公司生產(chǎn)的智能手機(jī)與平板電腦。例如 Bobst Manchestd.，Leybold optics，Applied Materials, Inc.等公司研制或設(shè)計(jì)的物理氣相沉積設(shè)備圖 1-2 所示[21]。我國(guó)企業(yè)為了獲得高性能涂層產(chǎn)品的訂單，只能花巨資從國(guó)口這些設(shè)備來(lái)生產(chǎn)可以達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品。因此，研制高性能物理氣相沉積設(shè)有很高的經(jīng)濟(jì)價(jià)值和社會(huì)效益。

物理氣相沉積設(shè)備歷物理氣相沉積流程中畫(huà)模擬抽真空系統(tǒng)以積設(shè)備仿真軟件的總—控制器）設(shè)計(jì)方法模式，其核心思想是分離開(kāi)來(lái)，再通過(guò)一得軟件系統(tǒng)有著良好模型）、V（視圖）、C示；控制器則為用戶(hù)擔(dān)操作的功能，其本身Control

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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碩士論文
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本文編號(hào)：3505671