多線電極微細(xì)電解加工技術(shù)研究
本文關(guān)鍵詞:多線電極微細(xì)電解加工技術(shù)研究,由筆耕文化傳播整理發(fā)布。
【摘要】:微細(xì)電解線切割加工技術(shù)是以微米尺度的線電極作為工具電極,利用陽(yáng)極金屬在電解液中發(fā)生電化學(xué)溶解的原理,結(jié)合二維平面運(yùn)動(dòng),對(duì)金屬材料進(jìn)行切割成形的一種加工方法。由于加工過(guò)程陰極線電極不發(fā)生損耗,故電極直徑可以小至數(shù)微米。結(jié)合納秒脈沖技術(shù),微細(xì)電解線切割可以加工出小至數(shù)微米的復(fù)雜二維微結(jié)構(gòu)。本文主要進(jìn)行了多線電極微細(xì)電解加工的基礎(chǔ)研究,工作內(nèi)容分別為:1、針對(duì)微細(xì)電解線切割加工效率較低,提出了多線電極微細(xì)電解加工的方法,并且建立了多線電極微細(xì)電解的加工模型。2、設(shè)計(jì)并搭建了微細(xì)電解線切割機(jī)床。根據(jù)多線電極微細(xì)電解的加工特點(diǎn),分別對(duì)機(jī)床本體、控制系統(tǒng)、監(jiān)測(cè)系統(tǒng)和隔振系統(tǒng)進(jìn)行了設(shè)計(jì)。3、進(jìn)行了多線電極微細(xì)電解加工工藝試驗(yàn)研究。試驗(yàn)分析了電源電壓、脈沖寬度、脈沖周期、進(jìn)給速度對(duì)縫寬的影響。研究了不同線電極數(shù)量下加工電參數(shù)對(duì)加工效率的影響。4、利用優(yōu)化的加工參數(shù),采用三根線電極,在彈性鈷基合金工件上,加工出一致性較高的微細(xì)群結(jié)構(gòu)。5、提出了間歇回退方式以利于電解產(chǎn)物的排出,試驗(yàn)對(duì)比分析了單次進(jìn)給量和間歇回退幅值/頻率對(duì)加工過(guò)程的影響。對(duì)于間歇回退微幅往復(fù)運(yùn)絲微細(xì)電解線切割工藝進(jìn)行了初步探索。
【關(guān)鍵詞】:多線電極 微細(xì)電解加工 縫寬 加工效率 間歇回退
【學(xué)位授予單位】:南京航空航天大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2016
【分類號(hào)】:TG662
【目錄】:
- 摘要4-5
- ABSTRACT5-11
- 注釋表11-12
- 第一章 緒論12-24
- 1.1 微細(xì)加工技術(shù)的研究和發(fā)展12-15
- 1.1.1 半導(dǎo)體材料的微細(xì)加工12
- 1.1.2 LIGA技術(shù)和UV-LIGA技術(shù)12-13
- 1.1.3 微細(xì)切削技術(shù)13-14
- 1.1.4 高能束流微細(xì)加工技術(shù)14-15
- 1.2 微細(xì)電加工技術(shù)的研究和發(fā)展15-19
- 1.2.1 微細(xì)電解加工技術(shù)15-17
- 1.2.2 微細(xì)電火花技術(shù)17-18
- 1.2.3 微細(xì)電化學(xué)放電技術(shù)18
- 1.2.4 組合加工技術(shù)18-19
- 1.3 電解線切割技術(shù)的研究和發(fā)展19-21
- 1.4 課題研究意義以及主要研究?jī)?nèi)容21-24
- 1.4.1 課題的研究意義21-22
- 1.4.2 主要研究?jī)?nèi)容22-24
- 第二章 多線電極微細(xì)電解加工機(jī)理24-32
- 2.1 微細(xì)電解線切割加工原理24
- 2.2 提高微細(xì)電解線切割加工效率方案24-27
- 2.2.1 強(qiáng)化傳質(zhì)提高加工效率方案24-26
- 2.2.2 多線電極提高加工效率方案26-27
- 2.3 納秒脈沖電流多線電極微細(xì)電解加工模型27-31
- 2.4 本章小結(jié)31-32
- 第三章 微細(xì)電解線切割加工機(jī)床32-43
- 3.1 機(jī)床的總體布局設(shè)計(jì)32-34
- 3.2 機(jī)床本體34-38
- 3.2.1 床身、外罩設(shè)計(jì)34
- 3.2.2 運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)34-35
- 3.2.3 陰陽(yáng)極及其裝夾35-37
- 3.2.4 電解液系統(tǒng)37-38
- 3.2.5 輔助裝置38
- 3.3 納秒脈沖電源38-39
- 3.4 控制系統(tǒng)39-40
- 3.5 監(jiān)測(cè)系統(tǒng)40-41
- 3.6 隔振系統(tǒng)41-42
- 3.7 本章小結(jié)42-43
- 第四章 多線電極微細(xì)電解加工工藝試驗(yàn)研究43-59
- 4.1 影響加工的因素分析43-47
- 4.1.1 影響切縫加工精度因素分析43-44
- 4.1.2 影響切縫加工效率因素分析44-45
- 4.1.3 線電極數(shù)量對(duì)加工的影響45-47
- 4.2 多線電極加工精度試驗(yàn)研究47-53
- 4.2.1 電源電壓對(duì)縫寬的影響48-49
- 4.2.2 脈沖寬度對(duì)縫寬的影響49-50
- 4.2.3 脈沖周期對(duì)縫寬的影響50-51
- 4.2.4 進(jìn)給速度對(duì)縫寬的影響51-53
- 4.3 線電極數(shù)量對(duì)加工效率的影響53-57
- 4.3.1 不同線電極數(shù)量下電源電壓對(duì)加工效率的影響53-54
- 4.3.2 不同線電極數(shù)量下脈沖寬度對(duì)加工效率的影響54-56
- 4.3.3 不同線電極數(shù)量下脈沖周期對(duì)加工效率的影響56-57
- 4.4 典型結(jié)構(gòu)加工57-58
- 4.5 本章小結(jié)58-59
- 第五章 間歇回退微細(xì)電解線切割加工59-66
- 5.1 間歇回退強(qiáng)化傳質(zhì)策略59-61
- 5.2 間歇回退對(duì)加工的影響61-64
- 5.2.1 單次進(jìn)給量對(duì)加工的影響61-63
- 5.2.2 回退幅值/頻率對(duì)加工的影響63-64
- 5.3 間歇回退微幅往復(fù)運(yùn)絲微細(xì)電解線切割工藝初探64-65
- 5.4 本章小結(jié)65-66
- 第六章 總結(jié)與展望66-68
- 6.1 本文研究工作總結(jié)66
- 6.2 未來(lái)研究工作展望66-68
- 參考文獻(xiàn)68-73
- 致謝73-74
- 在學(xué)期間的研究成果及發(fā)表的學(xué)術(shù)論文74
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