機(jī)床熱變形的光纖光柵測量關(guān)鍵技術(shù)研究
【學(xué)位單位】:武漢理工大學(xué)
【學(xué)位級別】:碩士
【學(xué)位年份】:2018
【中圖分類】:TG547
【部分圖文】:
常見的球桿儀、電容位移傳感器、激光干涉儀、激光位移傳感器等精密測量儀器都曾用于機(jī)床熱誤差的測量,或者是用來檢測機(jī)床熱誤差的補(bǔ)償效果。多年來,大量學(xué)者針對機(jī)床熱變形問題做了許多的研究。例如,1995 年 ChenJ S 等人[13]利用若干個(gè)熱電偶采集數(shù)控機(jī)床溫度值來構(gòu)建溫度場,以及若干個(gè)電容位移傳感器采集數(shù)控機(jī)床的各個(gè)方向的熱誤差信息,之后對機(jī)床實(shí)施補(bǔ)償,并利用激光干涉儀檢測補(bǔ)償效果;如圖 1-1 所示,2006 年天津大學(xué)的商鵬和阮宏慧等人[14]提出了一種基于球桿儀的三軸數(shù)控機(jī)床熱誤差檢測方法,能夠測得機(jī)床空載時(shí)的主軸端到工作臺的熱偏移量;2012 年捷克的 Horej O 等人[15]以數(shù)控銑削加工中心為研究對象,安裝了 12 個(gè)溫度傳感器和 3 個(gè)電容位移傳感器,由此建立了的數(shù)控銑削加工中心的溫度場和熱變形場;2012 年仇健和劉春時(shí)等人[16]以龍門數(shù)控銑床為研究對象(如圖 1-2),采用熱像儀測量主軸箱溫度,安裝了五個(gè)激光位移傳感器用來測量主軸熱誤差,最終分析了主軸的各類熱誤差分量,以及溫度對各個(gè)坐標(biāo)軸變形的影響,例如熱延遲和熱慣性等特性。
常見的球桿儀、電容位移傳感器、激光干涉儀、激光位移傳感器等精密測量儀器都曾用于機(jī)床熱誤差的測量,或者是用來檢測機(jī)床熱誤差的補(bǔ)償效果。多年來,大量學(xué)者針對機(jī)床熱變形問題做了許多的研究。例如,1995 年 ChenJ S 等人[13]利用若干個(gè)熱電偶采集數(shù)控機(jī)床溫度值來構(gòu)建溫度場,以及若干個(gè)電容位移傳感器采集數(shù)控機(jī)床的各個(gè)方向的熱誤差信息,之后對機(jī)床實(shí)施補(bǔ)償,并利用激光干涉儀檢測補(bǔ)償效果;如圖 1-1 所示,2006 年天津大學(xué)的商鵬和阮宏慧等人[14]提出了一種基于球桿儀的三軸數(shù)控機(jī)床熱誤差檢測方法,能夠測得機(jī)床空載時(shí)的主軸端到工作臺的熱偏移量;2012 年捷克的 Horej O 等人[15]以數(shù)控銑削加工中心為研究對象,安裝了 12 個(gè)溫度傳感器和 3 個(gè)電容位移傳感器,由此建立了的數(shù)控銑削加工中心的溫度場和熱變形場;2012 年仇健和劉春時(shí)等人[16]以龍門數(shù)控銑床為研究對象(如圖 1-2),采用熱像儀測量主軸箱溫度,安裝了五個(gè)激光位移傳感器用來測量主軸熱誤差,最終分析了主軸的各類熱誤差分量,以及溫度對各個(gè)坐標(biāo)軸變形的影響,例如熱延遲和熱慣性等特性。
圖 1-3 分布差動式應(yīng)變位移傳感器 圖 1-4 大量程彎曲彈性梁2005 年劉波等人[30]對光纖布拉格光柵傳感器的精密位移測量做了實(shí)驗(yàn),直接將光纖布拉格光柵作為彈性體。如圖 1-5 所示,將一段光纖光柵一端固定,另一端與滑塊相連接,滑塊下方安裝導(dǎo)軌,并在最右端有千分尺控制位移。傳感器的測量范圍為 0.6mm,測量分辨力為 1.5nm。此傳感器的特點(diǎn)是精度高,但量程小,易拉斷,使用率低。2007 年 Hong Ng,Xiaoqun Zhou,Xiufeng Yang 等人[31]設(shè)計(jì)了一種簡單的溫度不敏感光纖布拉格光柵位移傳感器,其基本原理類似于微彎結(jié)構(gòu),如圖 1-6 所示,利用弧形結(jié)構(gòu)來限制光纖布拉格光柵,使其產(chǎn)生應(yīng)變,并通過測量波長帶寬來測量上下位移。此 FBG 位移傳感器的測量分辨率為 0.6234nm/mm,測量范圍為 0.6mm,但微彎結(jié)構(gòu)精度不高,容易產(chǎn)生誤差。
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