【摘要】：考慮去除函數(shù)對數(shù)控小工具拋光光學(xué)元件精度的影響,提出了如何根據(jù)需要加工的非球面參數(shù)以及拋光盤參數(shù)得到最優(yōu)去除函數(shù)的方法。由于計(jì)算非球面上去除函數(shù)的核心是準(zhǔn)確獲得拋光盤與鏡面間的動(dòng)態(tài)壓力分布,本文提出利用有限元法仿真拋光盤與非球面間的壓力分布,并結(jié)合經(jīng)典Preston方程與行星運(yùn)動(dòng)模型來得到非球面不同位置處的去除函數(shù)�；陔S動(dòng)壓力分布模型,分析了瀝青盤拋光非球面時(shí)在不同拋光位置處去除函數(shù)的變化。在曲率半徑為1 000mm的球面上進(jìn)行了去除函數(shù)驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)。結(jié)果表明:基于本文理論得到的去除函線型更接近實(shí)際情況,皮爾遜系數(shù)達(dá)到了0.977。本文提出的方法可以方便地調(diào)整加工位置來得到相應(yīng)的壓力分布,實(shí)現(xiàn)去除函數(shù)的優(yōu)化,對提高加工效率與精度有實(shí)際指導(dǎo)意義。
[Abstract]:Considering the effect of removal function on the precision of polishing optical elements of NC gadgets, a method is proposed to obtain the optimal removal function of aspheric parameters and polishing parameters according to the needs of machining. Because the core of calculating the removal function on aspheric surface is to obtain the dynamic pressure distribution between the polishing disk and the mirror accurately, the finite element method is proposed to simulate the pressure distribution between the polishing disk and the aspheric surface. Combined with the classical Preston equation and the planetary motion model, the removal function at different positions of the aspheric surface is obtained. Based on the model of follow-up pressure distribution, the change of removal function at different polishing positions in asphaltene polishing of asphaltene disk is analyzed. The removal function verification experiment is carried out on the spherical surface with 1 000mm radius of curvature. The results show that the removal function based on this theory is closer to the actual situation, and the Pearson coefficient is 0.977. The method proposed in this paper can easily adjust the machining position to obtain the corresponding pressure distribution and realize the optimization of the removal function. It is of practical significance to improve the machining efficiency and accuracy.
【作者單位】： 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所;
【基金】：中國科學(xué)院青年創(chuàng)新促進(jìn)會(huì)科研基金資助項(xiàng)目 國家重大科技專項(xiàng)資助項(xiàng)目
【分類號】：TG580.692

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 顧敏芝,何良芳;中等口徑光學(xué)非球面的高效研拋技術(shù)[J];光學(xué)儀器;2005年01期

2 何玉松;趙學(xué)森;李增強(qiáng);姚洪輝;孫濤;;基于刀具擺動(dòng)進(jìn)給的非球面加工形貌仿真[J];航空精密制造技術(shù);2012年04期

3 張健;代雷;王飛;王立朋;;小磨頭自適應(yīng)拋光抑制高精度非球面中頻誤差[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2013年08期

4 侯朝楨;姚以峰;馮之敬;;微機(jī)控制光學(xué)非球面加工[J];新技術(shù)新工藝;1991年01期

5 王勤;余景池;胡祖元;;非球面復(fù)制成型技術(shù)的研究[J];光學(xué)技術(shù);2006年01期

6 詹建明;章民慶;;非球面柔順研拋的邊緣效應(yīng)機(jī)理研究[J];中國機(jī)械工程;2013年12期

7 林銀森，林荔;高屈光度眼用透鏡的非球面化模式[J];光學(xué)技術(shù);1996年03期

8 程灝波,張學(xué)軍,鄭立功,張峰,范鏑;非球面研磨階段檢測技術(shù)的優(yōu)化[J];航空精密制造技術(shù);2002年06期

9 黃大剛;王寶光;辛運(yùn)幃;;從測量值計(jì)算非球面參數(shù)[J];納米技術(shù)與精密工程;2008年03期

10 謝仁寧,郭隱彪,黃浩;基于高精度非球面測量的數(shù)據(jù)采集與處理系統(tǒng)研究[J];廈門大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2004年03期

相關(guān)會(huì)議論文 前10條

1 黃亞;馬云;沈華;朱日宏;;基于計(jì)算全息元件的非球面測量方法[A];第十三屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2010年

2 劉東;楊甬英;田超;翁俊淼;卓永模;;可用于非球面通用化檢測的部分零位透鏡及系統(tǒng)[A];第十二屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2008年

3 王平;齊月靜;劉yN;楊輝;趙罘;;提高非球面檢測精度的途徑[A];提高全民科學(xué)素質(zhì)、建設(shè)創(chuàng)新型國家——2006中國科協(xié)年會(huì)論文集（下冊）[C];2006年

4 張海濤;;用補(bǔ)償器檢測非球面時(shí)非球面頂點(diǎn)球曲率半徑的求取方法[A];第十四屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2012年

5 張寶安;潘君驊;;透射凸二次非球面的檢驗(yàn)方法的研究[A];第九屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2001年

6 張峰;范鏑;李銳剛;鄭立功;高勁松;張學(xué)軍;;非球面碳化硅反射鏡的加工與測試[A];第十二屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2008年

7 黃浩;郭隱彪;謝仁寧;;高精度非球面制造系統(tǒng)控制軟件的設(shè)計(jì)[A];福建省科協(xié)第三屆學(xué)術(shù)年會(huì)裝備制造業(yè)專題學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2003年

8 馬云;朱日宏;高志山;馬駿;何勇;;消除計(jì)算全息檢測非球面鬼像的一種方法[A];第十二屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2008年

9 常軍;翁志成;張新;姜會(huì)林;叢小杰;;大口徑凸非球面零件檢測的新思路[A];大珩先生九十華誕文集暨中國光學(xué)學(xué)會(huì)2004年學(xué)術(shù)大會(huì)論文集[C];2004年

10 韓昌元;;非球面三反射鏡系統(tǒng)的干涉檢驗(yàn)與計(jì)算機(jī)輔助裝調(diào)[A];第十一屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2006年

相關(guān)重要報(bào)紙文章 前4條

1 本報(bào)記者 屈明光 李倩;非球面光學(xué)技術(shù) 冰點(diǎn)下的新對峙[N];經(jīng)濟(jì)參考報(bào);2002年

2 于樹森 董娟;云南建成光電非球面物鏡生產(chǎn)線[N];中國電子報(bào);2001年

3 武漢艾格眼科醫(yī)院 劉保松;非球面人工晶體植入效果更好[N];健康報(bào);2009年

4 洋洋;鏡頭指標(biāo)[N];衛(wèi)生與生活報(bào);2008年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前4條

1 李龍響;大口徑非球面磁流變加工的關(guān)鍵技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院(長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2016年

2 喬玉晶;非球面拼接測量中偏置誤差作用機(jī)理與拼接方法研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2008年

3 耿振野;高次非球面加工檢測與控制技術(shù)的研究[D];長春理工大學(xué);2013年

4 史永杰;基于磁流變力矩伺服的非球面數(shù)控研拋力—位—姿解耦技術(shù)研究[D];吉林大學(xué);2012年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 季勇華;高精度大相對孔徑光學(xué)非球面檢測研究[D];蘇州大學(xué);2015年

2 姜楠;非球面光學(xué)零件加工過程仿真設(shè)計(jì)[D];長春理工大學(xué);2014年

3 馬兆凱;大口徑非球面SiC反射鏡磨削工藝優(yōu)化[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2016年

4 李向榮;非球面檢測儀的研制[D];長春理工大學(xué);2002年

5 景敏娟;非球面波長掃描干涉測試方法的研究[D];長春理工大學(xué);2002年

6 張建波;非球面數(shù)字化柔順精密研拋技術(shù)研究[D];寧波大學(xué);2009年

7 王守利;非球面波長掃描干涉測試方法的研究[D];長春理工大學(xué);2003年

8 焦長君;基于橢圓路徑的高陡度非球面成型方法原理研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2004年

9 倪穎;小型非球面輪廓測量儀的原理和應(yīng)用[D];蘇州大學(xué);2003年

10 于四海;光學(xué)非球面柔順精密研拋的工藝優(yōu)化[D];寧波大學(xué);2012年

，

本文編號：2445186