【摘要】：采用陰極弧沉積、中頻磁控濺射及二者的復(fù)合技術(shù)在GCr15基底上制備了TiN涂層。通過掃描電鏡、XRD譜、微米劃痕測試、硬度測試以及摩擦磨損測試對涂層的組織結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能進行了表征及對比。結(jié)果表明,采用復(fù)合磁控陰極弧技術(shù)制備的TiN涂層具有較好的綜合性能,如較光滑的表面、較高的結(jié)合力和硬度,故磨損率較低。
[Abstract]:TiN coatings were prepared on GCr15 substrate by cathodic arc deposition, if magnetron sputtering and the combination of them. The microstructure and mechanical properties of the coatings were characterized and compared by SEM, XRD, micrometer scratch test, hardness test and friction and wear test. The results show that the composite magnetically controlled cathodic arc (TiN) coating has better comprehensive properties, such as smooth surface, higher adhesion and hardness, so the wear rate is lower.
【作者單位】： 大連理工大學(xué);北京航空工業(yè)制造研究所高能束流加工技術(shù)重點實驗室;
【基金】：National Instrumentation Grant Program(2011YQ120039)
【分類號】：TG174.4

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本文編號：2422842