【摘要】：針對(duì)傳統(tǒng)單拋光輪機(jī)床在加工中存在的不足,研發(fā)一臺(tái)擁有雙拋光輪的磁流變機(jī)床,該機(jī)床采用氣浮技術(shù),有力的減小了外界振動(dòng)對(duì)加工過(guò)程的影響。該機(jī)床具備加工大口徑平面、球面、離軸非球面以及加工光學(xué)元件表面小特征的能力,并對(duì)加工性能進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。以所研發(fā)機(jī)床為平臺(tái)分別研究了材料去除過(guò)程穩(wěn)定性,修形能力和加工光學(xué)表面小特征的能力實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)表明在七個(gè)小時(shí)內(nèi)去除函數(shù)的體積其去除效率低于5%,并對(duì)一塊直徑100.7mm的光學(xué)元件加以修形,經(jīng)過(guò)迭代加工,PV值在2小時(shí)內(nèi)由波長(zhǎng)0.773下降到波長(zhǎng)0.173,RMS值由61.3nm下降到4.577nm。并用直徑20mm的拋光輪進(jìn)行小特征的加工,加工結(jié)果表明小特征的寬度約為2.5mm,且圖案清晰、均勻。由此表明,所研發(fā)機(jī)床具有較好的材料去除穩(wěn)定性,較強(qiáng)的面形修正能力和加工光學(xué)元件小特征的能力。
[Abstract]:In view of the shortcomings of traditional single polishing wheel machine tool, a magneto-rheological machine tool with double polishing wheel is developed. This machine adopts air floatation technology, which can reduce the influence of external vibration on the machining process. The machine has the ability to process large aperture plane, spherical surface, off-axis aspherical surface and small surface features of optical elements. On the platform of the developed machine tool, the stability of the material removal process, the ability to modify the shape and the ability to process the small characteristics of the optical surface were studied. The experimental results show that the removal efficiency of the removal function is less than 5 in seven hours, and the shape of an optical element with diameter 100.7mm is modified. After iterative processing, the PV value decreases from 0.773 to 0.173 in 2 hours. The RMS value decreased from 61.3nm to 4.577nm. The machining results show that the width of the small feature is about 2.5 mm, and the pattern is clear and uniform. It is shown that the developed machine tool has better material removal stability, better surface modification ability and the ability to process the small characteristics of optical elements.
【作者單位】： 山東科技大學(xué)機(jī)械電子工程學(xué)院;國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué)機(jī)電工程與自動(dòng)化學(xué)院;
【基金】：山東省自然科學(xué)基金(ZR2014EEM021)
【分類號(hào)】：TG580.692

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2303664