本文選題：Zr摻雜類金剛石膜 + 顯微結(jié)構(gòu)�。� 參考：《表面技術(shù)》2017年06期

【摘要】：目的改善不銹鋼摩擦性能及耐腐蝕性能。方法通過線性陽極層離子源輔助非平衡磁控濺射法,制備了不同Zr含量的類金剛石(DLC)薄膜,采用掃描電子顯微鏡、拉曼光譜儀、納米硬度儀、高溫銷盤磨損儀、電化學(xué)工作站,對薄膜的化學(xué)成分、顯微結(jié)構(gòu)、納米硬度、薄膜摩擦性能及耐腐蝕性能進(jìn)行測試研究。結(jié)果隨著Zr靶功率的增大,Zr含量線性增加。Zr含量從4.9%增加至16.3%時(shí),I_D/I_G增大,薄膜硬度從12.1 GPa逐漸下降至8.4 GPa;Zr含量增大至21.2%時(shí),I_D/I_G減小,薄膜硬度增大至11.4 GPa。涂鍍類金剛石薄膜的不銹鋼基體比無涂層的不銹鋼基體有更低的摩擦系數(shù),更好的耐磨損性能。Zr摻雜DLC薄膜的最小摩擦系數(shù)為0.07。Zr含量從4.9%增加至16.3%,DLC薄膜的耐腐蝕性能減弱;Zr含量繼續(xù)增加,DLC薄膜的耐腐蝕性能增強(qiáng)。當(dāng)Zr含量不大于11.9%時(shí),沉積Zr摻雜DLC膜的不銹鋼基體的耐腐蝕性能比不銹鋼基體的更強(qiáng)。結(jié)論 Zr含量不大于11.9%時(shí),Zr摻雜類金剛石薄膜既可以有效地改善不銹鋼基體的摩擦磨損性能,又可以大幅提高耐腐蝕性能。
[Abstract]:Aim to improve the friction and corrosion resistance of stainless steel. Methods Diamond-like carbon (DLC) thin films with different Zr content were prepared by linear anodic ion source assisted unbalanced magnetron sputtering. Scanning electron microscopy, Raman spectroscopy, nano-hardness tester, high-temperature pin disk wear tester, electrochemical workstation were used. The chemical composition, microstructure, nano hardness, tribological properties and corrosion resistance of the films were studied. Results with the increase of Zr target power, the linear increase of Zr content and the increase of Zr content from 4.9% to 16.3%, the hardness of thin films gradually decreased from 12.1 GPa to 8.4 GPA Zr content to 21.2 GPa-Zr content, and the hardness of the films increased to 11.4 GPa.The hardness of the films increased to 11.4 GPa.Results with the increase of the power of Zr target, the content of Zr and Zr increased linearly from 4.9% to 16.3%, and the hardness of the films increased to 11.4 GPa. The friction coefficient of stainless steel coated with diamond-like carbon film is lower than that of stainless steel without coating. The minimum friction coefficient of Zr-doped DLC thin films is that the 0.07.Zr content is increased from 4.9% to 16.3DLC thin films. The corrosion resistance of DLC films decreases and Zr content continues to increase and enhance the corrosion resistance of DLC films. When Zr content is less than 11.9%, the corrosion resistance of the deposited Zr-doped DLC film is stronger than that of the stainless steel substrate. Conclusion Zr doped diamond-like carbon films with Zr content less than 11.9 can not only improve the friction and wear properties of stainless steel substrates, but also improve the corrosion resistance of stainless steel substrates.
【作者單位】： 重慶大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;四川理工學(xué)院材料腐蝕與防護(hù)四川省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：材料腐蝕與防護(hù)四川省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金資助(2016CL13) 重慶市基礎(chǔ)與前沿研究計(jì)劃項(xiàng)目(cstc2015jcyjA70005)~~
【分類號】：TG174.4

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7 林s，

本文編號：1966188