本文選題：金剛石刀具　切入點(diǎn)：刀尖圓弧波紋度　出處：《光學(xué)精密工程》2017年10期

【摘要】：為實(shí)現(xiàn)金剛石刀具刀尖圓弧波紋度超精密測量,構(gòu)建了基于原子力顯微鏡(AFM)和精密回轉(zhuǎn)軸系的刀尖圓弧輪廓測量系統(tǒng),研究了刀尖圓弧波紋度評(píng)價(jià)方法和控制測量系統(tǒng)引入誤差的策略。提出了評(píng)價(jià)刀尖圓弧波紋度時(shí)截止波長的確定原則和方法,并介紹了刀尖圓弧波紋度測量原理及評(píng)價(jià)流程。討論了精密回轉(zhuǎn)軸系徑向回轉(zhuǎn)誤差的測量和評(píng)定、刀具安裝偏心和偏角誤差的控制和原子力掃描系統(tǒng)Z向非線性誤差的校準(zhǔn)方法。最后,在構(gòu)建的測量系統(tǒng)上測量了了金剛石刀具刀尖圓弧波紋度并對測量不確定度進(jìn)行了分析。實(shí)驗(yàn)測量顯示:所評(píng)價(jià)金剛石刀具的刀尖圓弧波紋度為0.106μm,測量不確定度為23.8nm,表明所構(gòu)建的測量系統(tǒng)基本滿足金剛石刀具刀尖圓弧波紋度納米級(jí)測量及評(píng)價(jià)的需求,測量結(jié)果穩(wěn)定可靠、精度高。
[Abstract]:In order to realize the ultra - precision measurement of the circular ripple degree of the tool tip of diamond tool , a circular arc profile measuring system based on atomic force microscope ( AFM ) and precision rotating shaft system is constructed . The principle and method of measuring the cut - off wavelength of the tool tip arc are studied .

【作者單位】： 中國工程物理研究院機(jī)械制造工藝研究所;
【基金】：國家重大科技專項(xiàng)資助項(xiàng)目(No.2013ZX04006011)
【分類號(hào)】：TG711

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